[发明专利]平稳倒换真空泵的方法

权利要求书

1.平稳倒换真空泵的装置，其特征在于，包括：主管道（1）、在用真空泵（2）和备用真空泵（13）；

所述主管道（1）一端设有在用真空泵（2），所述在用真空泵（2）的入口连通的管道上设置有在用泵进口阀（4），所述用泵进口阀（4）与在用真空泵（2）之间设置有第四压力表（5），所述在用真空泵（2）通过管道与在用分离罐（3）的入口连通，所述在用分离罐（3）设置有第二压力表（10）和第二压力变送器（11），所述在用分离罐（3）的出口通过管道与后工序的设备连通，所述在用分离罐（3）的出口的管道上设置有在用泵出口阀（12），在用分离罐（3）的出口的管道和在用真空泵（2）的入口连通的管道之间设置在用泵循环管（6），所述在用泵循环管（6）上设置有在用泵循环管阀门（9），所述在用泵循环管（6）上设置有在用泵旁通管（7），所述在用泵旁通管（7）位于在用泵循环管阀门（9）的两端，且所述在用泵旁通管（7）上设置有在用泵旁通阀（8），另外，所述在用真空泵（2）和在用分离罐（3）之间设置有工作液冷却器，被冷却的工作液在在用真空泵（2）和在用分离罐（3）之间循环，降低在用真空泵（2）和在用分离罐（3）的温度；

所述备用真空泵（13）的入口连通的管道上设置有备用泵进口阀（15），备用泵进口阀（15）与备用真空泵（13）之间设置有第三压力表（16），所述备用真空泵（13）通过管道与备用分离罐（14）的入口连通，所述备用分离罐（14）设置有第一压力表（21）和第一压力变送器（22），所述备用分离罐（14）的出口通过管道与后工序的设备连通，所述备用分离罐（14）的出口的管道上设置有备用泵出口阀（23），所述备用分离罐（14）的出口的管道和备用真空泵（13）的入口连通的管道之间设置备用泵循环管（17），所述备用泵循环管（17）上设置有备用泵循环管阀门（19），所述备用泵循环管（17）上设置有备用泵旁通管（18），所述备用泵旁通管（18）位于备用泵循环管阀门（19）的两端，且所述备用泵旁通管（18）上设置有备用泵旁通阀（20），另外，所述备用真空泵（13）和备用分离罐（14）之间设置有工作液冷却器，被冷却的工作液在备用真空泵（13）和备用分离罐（14）之间循环，降低备用真空泵（13）和备用分离罐（14）的温度；

所述备用分离罐（14）的出口的管道设置在在用泵出口阀（12）的后方。