[发明专利]一种用于掺稀土预制棒制备的气相蒸发装置

权利要求书

1.一种用于掺稀土预制棒制备的气相蒸发装置，其特征在于，该装置包含从上到下依

次布置的超洁净室、料

罐室、阀门及管道的安装板、保温室、高温蒸汽输送装置；

所述超洁净室位于气相蒸发装置的最上方，包含原料及料盘进出口、高纯氮气进出口、

操作窗口，超洁净室的下方为料罐室，超洁净室通过一个耐腐蚀、耐高温的保温板与所述料

罐室相连接；

所述料罐室用于安装原料料罐，并形成一个保温的密封空间，所述料罐室确保原料料

罐在工作时处于一个相对稳定的高温环境内，当所述保温板关闭时，所述料罐室与所述超

洁净室分别处于密封状态；当所述保温板打开时，所述料罐室与所述超洁净室形成一个联

通的腔体；

所述阀门及管道安装板位于所述料罐室的正下方，其用于安置调节高温原材料蒸汽的

阀门和管道，在所述阀门及管道安装板的底面安装着

高温蒸汽的输送装置，所述阀门及管

道的安装板以及高温蒸汽的输送装置均位于所述保温室内；

所述高温蒸汽输送装置用于将气相蒸发装置的高温蒸汽输送至沉积衬管内，所述高

温蒸汽输送装置安装在保温室的底面上，所述高温蒸汽输送装置包含导轨、支撑件、可折叠

管道、高温蒸汽输送管道，所述导轨为两条平行

的滑轨，安装于所述保温室的底面上、所述

支撑件用于支撑和连接所述可折叠管道与高温蒸汽管道，所述支撑件固定于导轨上，并可

以做水平移动、所述可折叠管道用于将经过所述阀门及管道安装板的高温蒸汽输送至所述

高温蒸汽管道内，所述高温蒸汽管道经位于所述保温室侧

壁的窗口伸出，然后插入到衬管

内部。

2.根据权利要求1所述的用于掺稀土预制棒制备的气相蒸发装置，其特征在于，超洁净

室采用耐腐蚀、无粉尘的材

料制造。

3.根据权利要求1所述的用于掺稀土预制棒制备的气相蒸发装置，其特征在于，所述保

温板由三层结构组成，即板、绝热层、板的结构，板材选用不锈钢。

4.根据权利要求3所述的用于掺稀土预制棒制备的气相蒸发装置，其特

征在于，

绝热层的绝热

材

料选用气凝胶。

5.根据权利要求1所述的用于掺稀土预制棒制备的气相蒸发装置，其特征在于，所述保

温板采用旋转的方式实现打开和关闭，即当保温板处于水平

位置时，其处于

关闭状态，当保

温板处于非水平位置时，其处于打开状态。

6.根据权利要求1所述的用于掺稀土预制棒制备的气相蒸发装置，其特征在于，所述高

温蒸汽管道采用高纯的不锈钢波纹管或者高纯的PTFE管。

7.根据权利要求1所述的用于掺稀土预制棒制备的气相蒸发装置，其特征在于，所述高

温蒸汽输送管道为刚性管道。

8.根据权利要求1所述的用于掺稀土预制棒制备的气相蒸发装置，其特征在于，所述高

温蒸汽输送管道内部包

含加热保温装置、热电偶和高纯气体管道。