[发明专利]多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法

说明书

本发明公开了多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法，包括凸模组件和凹模组件，凸模组件包括凸模框架，凸模框架上安装有凸模压板，凸模框架的左右两侧安装有滑动组件，凸模框架的内腔还安装有丝杆，且丝杆与滑动组件相配合安装，丝杆的外壁安装有手轮，凸模压板的外侧壁安装有多个销轴，销轴的外部配合安装有蝶形螺母，凸模压板的内侧壁安装有滑片，凹模组件包括凹模框架和活动支架组件，活动支架组件与滑片相配合卡接安装。本发明解决了钟罩制造过程中，导流板与外封头间隙测量与划线修配的难题。

技术领域

本发明涉及多晶硅技术领域，具体为多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法。

背景技术

多晶硅CVD还原炉钟罩，上封头组件为夹套结构，夹套内布置有导流板，冷却水在导流板与内、外封头形成的通道内流动，对内封头进行冷却，当外封头与导流板贴合不紧密，间隙较大时，部分冷却水会通过间隙直接流出到下一通道，形成短路，导致内封头冷却不均匀；在设备运行过程中钟罩内部反应温度高达1000℃以上，为硅粉的气相沉积提供反应热量。为提高热反射效果，内封头内壁为抛光状态。钟罩夹套中通入冷却水，以降低内壁所承受的温度，因钟罩是双层结构，内、外封头在成形时会和标准尺寸有较大偏差，加上焊接时产生的变形，内、外封头之间的间隙不均匀，最终导致产品导流板与外封头产生较大间隙，影响产品质量，因此钟罩制造过程中，导流板与外封头间隙测量与划线修配至关重要，因此，我们设计了多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及其检验方法。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及其检验方法，解决了钟罩制造过程中，导流板与外封头间隙测量与划线修配的难题。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：

多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，包括凸模组件和凹模组件，所述凸模组件用于取得还原炉钟罩外封头内侧实际外形轮廓，所述凹模组件用于还原炉钟罩内封头外侧导流板高度的修配划线与外形尺寸检验；

所述凸模组件包括凸模框架，所述凸模框架上安装有凸模压板，所述凸模框架的左右两侧安装有滑动结构，所述凸模框架的内腔还安装有丝杆，且丝杆与滑动结构相配合安装，所述丝杆的外壁安装有手轮，所述凸模压板的外侧壁安装有多个销轴，所述销轴的外部配合安装有蝶形螺母，所述凸模压板的内侧壁安装有滑片，通过滑片与还原炉钟罩外封头内壁紧密贴合，然后拧紧蝶形螺母带动凸模压板压紧滑片，把还原炉钟罩外封头内壁轮廓复制到凸模组件；

所述凹模组件包括凹模框架和用于与滑片相配合定位检验的活动支架结构，所述凸模组件和凹模组件通过滑片和活动支架结构把还原炉钟罩外封头内壁轮廓复制到凹模组件，且凹模组件中滑动弹簧片所组成的形状即为还原炉钟罩外封头内壁轮廓，并通过对凹模组件与内封头进行定位装配即可对内封头导流板进行划线或检验。

前述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，所述滑动结构包括滑块和固定块，所述滑块的内腔嵌合安装有螺母，且螺母与丝杆相配合安装，所述固定块的内侧安装有固定轮。

前述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，所述丝杆的一侧为左旋螺纹，另一侧为右旋螺纹。

前述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，所述活动支架结构包括支架，所述支架通过支架螺栓与凹模框架紧固连接，所述支架内腔安装有多个滑动弹簧片和多个定距块，所述多个滑动弹簧片和多个定距块通过压紧螺栓固定。

前述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，且多个滑动弹簧片和多个定距块间隔设置，且滑动弹簧片与定距块的内腔设置有与压紧螺栓相配合的固定槽。

前述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，所述滑动弹簧片与滑片的中间均开有腰型槽。

多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置的检测方法，