[发明专利]多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法

权利要求书

1.一种多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，包括凸模组件（1）和凹模组件（2），其特征在于：所述凸模组件（1）用于取得还原炉钟罩外封头内侧实际外形轮廓，所述凹模组件（2）用于还原炉钟罩内封头外侧导流板高度的修配划线与外形尺寸检验；

所述凸模组件（1）包括凸模框架（10），所述凸模框架（10）上安装有凸模压板（8），所述凸模框架（10）的左右两侧安装有滑动结构（7），所述凸模框架（10）的内腔还安装有丝杆（9），且丝杆（9）与滑动结构（7）相配合安装，所述丝杆（9）的外壁安装有手轮（3），所述凸模压板（8）的外侧壁安装有多个销轴（4），所述销轴（4）的外部配合安装有蝶形螺母（5），所述凸模压板（8）的内侧壁安装有滑片（6），通过滑片（6）与还原炉钟罩外封头内壁紧密贴合，然后拧紧蝶形螺母（5）带动凸模压板（8）压紧滑片（6），把还原炉钟罩外封头内壁轮廓复制到凸模组件（1）；

所述凹模组件（2）包括凹模框架（14）和用于与滑片（6）相配合定位检验的活动支架结构（15），所述凸模组件（1）和凹模组件（2）通过滑片（6）和活动支架结构（15）把还原炉钟罩外封头内壁轮廓复制到凹模组件（2），且凹模组件（2）中滑动弹簧片（17）所组成的形状即为还原炉钟罩外封头内壁轮廓，并通过对凹模组件（2）与内封头进行定位装配即可对内封头导流板进行划线或检验。

2.根据权利要求1所述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，其特征在于：所述滑动结构（7）包括滑块（12）和固定块，所述滑块（12）的内腔嵌合安装有螺母（11），且螺母（11）与丝杆（9）相配合安装，所述固定块的内侧安装有固定轮（13）。

3.根据权利要求1所述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，其特征在于：所述丝杆（9）的一侧为左旋螺纹，另一侧为右旋螺纹。

4.根据权利要求1所述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，其特征在于：所述活动支架结构（15）包括支架（19），所述支架（19）通过支架螺栓（20）与凹模框架（14）紧固连接，所述支架（19）内腔安装有多个滑动弹簧片（17）和多个定距块（18），且多个滑动弹簧片（17）和多个定距块（18）通过压紧螺栓（16）固定。

5.根据权利要求4所述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，其特征在于：多个所述滑动弹簧片（17）和多个定距块（18）间隔设置，且滑动弹簧片（17）与定距块（18）的内腔设置有与压紧螺栓（16）相配合的固定槽。

6.根据权利要求4所述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置，其特征在于：所述滑动弹簧片（17）与滑片（6）的中间均开有腰型槽。

7.根据权利要求1-6任一所述的多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置的检验方法，其特征在于：

（A）首先，将凸模组件（1）与钟罩上的外封头组装，将旋转手轮（3）逐渐缩小滑动结构（7）中固定轮（13）之间的距离，直至固定轮（13）与外封头夹紧，自动对中为止；

（B）在对中后，松开蝶形螺母（5）并滑动滑片（6），让滑片（6）与外封头内壁紧密贴合，拧紧蝶形螺母（5）带动凸模压板（8）压紧滑片（6），取出凸模组件（1）；

（C）然后，将活动支架结构（15）沿T形轨道移动到需要检测位置，拧紧支架螺栓（20）固定所有活动支架结构（15），然后把凸模组件（1）与凹模组件（2）组装配合；

（D）在凹模组件（2）装备结束后，松动压紧螺栓（16）将滑动弹簧片滑动到与凸模组件的滑片（6）接触，拧紧压紧螺栓（16），重复此过程直至所有滑动弹簧片（17）都与凸模组件（1）紧密接触；

（E）最后将凹模组件（2）与钟罩上的内封头组装，根据滑动弹簧片（17）与导流板相对位置，对导流板进行划线检测，并根据划线尺寸进行导流板切割、打磨修配。