[发明专利]带电粒子束照射装置

说明书

本发明的课题在于提供一种能够缩短带电粒子束的照射时间的带电粒子束照射装置。一种带电粒子束照射装置(1)，其照射带电粒子束(B)，所述带电粒子束照射装置(1)具备：加速器(2)，对带电粒子进行加速而生成带电粒子束(B)；照射部(3)，具有能够围绕旋转轴线进行旋转的机架(5)，并且照射由加速器(2)生成的带电粒子束(B)；及传输部(4)，具有设置于照射部(3)的外部并减小由加速器(2)生成的带电粒子束(B)的能量的能量衰减器(43)，并且向照射部(3)传输由加速器(2)生成的带电粒子束(B)，传输部(4)将具有通过能量衰减器(43)而能量减小的带电粒子束(B)的能量分布的该带电粒子束(B)传输到照射部(3)。

技术领域

本申请主张基于2020年03月30日申请的日本专利申请第2020-060893号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

本发明涉及一种带电粒子束照射装置。

背景技术

作为带电粒子束照射装置，例如已知有专利文献1所示的带电粒子束照射装置。带电粒子束照射装置具备：对带电粒子进行加速而生成带电粒子束的加速器；具有能够围绕旋转轴线进行旋转的旋转部，并且照射由加速器生成的带电粒子束的照射部；及从加速器向照射部传输带电粒子束的传输部。专利文献1的图4所示的带电粒子束照射装置在照射部的上部具备选择带电粒子束的能量的选择部(ESS：Energy Selection System)。专利文献1的选择部具有：减小带电粒子束的能量的衰减器；用于限制带电粒子束的运动量宽度的一对偏转电磁体及狭缝；以及准直器。

专利文献1：日本特开2015-163229号公报

在此，在专利文献1的图4所示的结构中，带电粒子束的布拉格峰因狭缝而变细。因此，扩大布拉格峰的形成中所需要的带电粒子束的能量的数量增加，且切换带电粒子束的能量的次数增多，具有带电粒子束的照射时间变长的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够缩短带电粒子束的照射时间的带电粒子束照射装置。

本发明所涉及的带电粒子束照射装置为照射带电粒子束的带电粒子束，其具备：加速器，对带电粒子进行加速而生成带电粒子束；照射部，照射由加速器生成的带电粒子束；及传输部，具有设置于照射部的外部并减小由加速器生成的带电粒子束的能量的衰减器，并且向照射部传输由加速器生成的带电粒子束，传输部将具有通过衰减器而能量减小的带电粒子束的能量分布的该带电粒子束传输到照射部。

本发明所涉及的带电粒子束照射装置在照射部的外侧的传输部上配置有减小带电粒子束的能量的衰减器。传输部将具有通过衰减器而能量减小的带电粒子束的能量分布的该带电粒子束传输到照射部。由此，传输部无需设置从带电粒子束的能量中选择特定范围的能量的选择部，便能够将该带电粒子束从衰减器传输到照射部。因此，与设置选择部的情况相比，带电粒子束的布拉格峰变粗，扩大布拉格峰的形成中所需要的带电粒子束的能量的数量减少，且切换带电粒子束的能量的次数减少。根据以上，能够缩短带电粒子束的照射时间。

在本发明所涉及的带电粒子束照射装置中，传输部可以具有准直器，该准直器设置于衰减器与照射部之间并调整带电粒子束的形状、大小及发散。在该情况下，准直器能够调整通过了衰减器的带电粒子束的形状及发散，并能够在保持带电粒子束的能量分布的状态下将带电粒子束从衰减器传输至照射部。

在本发明所涉及的带电粒子束照射装置中，传输部可以具有能够使通过衰减器而能量减小的带电粒子束通过的口径。在该情况下，传输部无需针对带电粒子束选择特定范围的能量，便能够在保持带电粒子束的能量分布的状态下将带电粒子束从衰减器传输至照射部。