[发明专利]带电粒子束照射装置

权利要求书

1.一种带电粒子束照射装置，其照射带电粒子束，所述带电粒子束照射装置具备：

加速器，对带电粒子进行加速而生成所述带电粒子束；

照射部，照射由所述加速器生成的所述带电粒子束；及

传输部，具有设置于所述照射部的外部并减小由所述加速器生成的所述带电粒子束的能量的衰减器，并且向所述照射部传输由所述加速器生成的所述带电粒子束，

所述传输部将具有通过所述衰减器而能量减小的所述带电粒子束的能量分布的该带电粒子束传输到所述照射部。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束照射装置，其中，

所述传输部具有准直器，所述准直器设置于所述衰减器与所述照射部之间并调整所述带电粒子束的形状、大小及发散。

3.根据权利要求1或2所述的带电粒子束照射装置，其中，

所述传输部具有能够使通过所述衰减器而能量减小的所述带电粒子束通过的口径。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的带电粒子束照射装置，其中，

所述衰减器减小由所述加速器生成的所述带电粒子束的能量，以使所述带电粒子束的运动量分散小于6％。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的带电粒子束照射装置，其中

所述照射部还具有：扫描所述带电粒子束的扫描电磁体、被所述扫描电磁体扫描的所述带电粒子束通过的通道、检测通过了所述通道的所述带电粒子束的监视器，

所述通道的内部被暴露于大气中。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的带电粒子束照射装置，其中，

所述传输部具有使所述带电粒子束聚束而修整所述带电粒子束的形状的六极磁铁或带有六极分量的偏转磁铁。