[发明专利]探针头及包括其的探针卡在审
| 申请号： | 202110317894.7 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113466506A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 安范模;朴胜浩;边圣铉 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清南道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 包括 | ||
【权利要求书】：
1.一种探针卡的探针头，其特征在于，包括：
上部引导板，配置有上部引导孔洞；
下部引导板，配置有下部引导孔洞；
中间部引导板，配置有中间部引导孔洞，且配置在所述上部引导板与所述下部引导板之间；以及
导引部件，配置在所述中间部引导板的一侧，
所述中间部引导板通过所述导引部件限制移动。
2.根据权利要求1所述的探针卡的探针头，其特征在于，
所述导引部件由字形态形成，设置在所述中间部引导板的侧面中除一个侧面之外的所有侧面。
3.根据权利要求1所述的探针卡的探针头，其特征在于，
所述导引部件分别设置在所述中间部引导板的侧面中的两个侧面，各个所述导引部件设置在彼此相对的位置。
4.根据权利要求1所述的探针卡的探针头，其特征在于，
所述导引部件以与所述中间部引导板的各个侧面对应的大小配置多个，各个所述导引部件选择性地设置在所述中间部引导板的侧面。
5.一种探针卡，其特征在于，包括：
空间转换器，配置有与多个探针电连接的探针连接焊盘；以及
探针头，配置在所述空间转换器的下部，
所述探针头包括：
上部引导板，配置有上部引导孔洞；
下部引导板，配置有下部引导孔洞；
中间部引导板，配置有中间部引导孔洞，且配置在所述上部引导板与所述下部引导板之间；以及
导引部件，配置在所述中间部引导板的一侧，
所述中间部引导板通过所述导引部件限制移动。
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