[发明专利]低能离子束探测与离子束流强自平衡连锁控制系统

权利要求书

1.一种低能离子束探测与离子束流强自平衡连锁控制系统，其特征在于，该系统包括：

离子束探测单元，被配置为对离子束流强信号进行探测，所述离子束探测单元包括前端探测器、低噪声放大器和锁相放大器；所述前端探测器嵌套在离子束管道上，被配置为探测离子束管道内的离子束流强信号；所述低噪声放大器，被配置为对采集的离子束流强信号进行放大；所述锁相放大器，被配置为锁定某一个固定的频率信号，舍弃其它频率信号；

数据采集与连锁单元，被配置为对采集的离子束流强信号进行数据分析与判断，实现被连锁设备的连锁及离子束流强调节，使核孔膜生产终端达到正常生产的离子束流强条件；所述数据采集与连锁单元包括基于FPGA的控制器、模拟信号采集子卡和连锁继电器；所述基于FPGA的控制器通过所述模拟信号采集子卡采集所述离子束探测单元的输出信号；所述基于FPGA的控制器设置有输出光口，输出光口均通过光纤通信将信号经由光电转换后连接到被控设备对其进行控制；所述基于FPGA的控制器还通过所述连锁继电器对被连锁设备进行连锁控制，并输出报警信号；所述基于FPGA的控制器内设置有离子束流强自平衡模块，所述离子束流强自平衡模块将采集的离子束流强信号与设定的阈值进行对比，根据所设置的阈值条件的不同，可分别启动连锁条件或矫正条件，实现被连锁设备的连锁及离子束流强调节，并根据预设条件判定核孔膜生产终端是否符合生产条件，如果符合生产条件则开始进行正常的生产，如果是不符合，则进行新一轮的比对；矫正条件包括矫正电源的升高或降低，当满足矫正条件，则发送信号调节矫正电源的输出值实现离子束流强的升高或降低；

数据显示存储单元，被配置为获取所述数据采集与连锁单元信号，对核孔膜生产终端的数据和状态信息进行存储和显示，所述数据显示存储单元包括交换机、服务器和计算机客户端；所述交换机通过网口连接所述基于FPGA的控制器，被配置为发送数据到所述服务器和计算机客户端；所述服务器内设置有数据库，被配置为存储数据便于分析和历史查询；所述计算机客户端，被配置为实时显示低能离子束探测或连锁过程以及被控设备的状态信息。

2.根据权利要求1所述的低能离子束探测与离子束流强自平衡连锁控制系统，其特征在于，所述低噪声放大器的数量为三个，通过三个低噪声放大器将离子束流强信号进行三级放大。

3.根据权利要求1所述的低能离子束探测与离子束流强自平衡连锁控制系统，其特征在于，连锁条件包括离子束流强过高或过低时的报警，当满足连锁条件，则发送信号到连锁继电器控制被连锁设备发生动作。