[发明专利]一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统及方法

权利要求书

1.一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统，其特征在于，包括；

光纤阵列激光器(3)，由每根光纤与对应的激光二极管LD耦合后形成，所述光纤若干排；所述光纤分为两列，两列光纤上下错位设置；

激光器控制板，与光纤阵列激光器(3)中的每个激光二极管LD连接；

光学处理及相机单元，用于缩小或放大光纤阵列激光器(3)发出的光斑和确定待光刻的PCB板的位置；

驱动单元，用于驱动光学处理单元及相机单元中的各部件在相应的轴上来回移动；

平台控制器(4)，与所述的驱动单元的受控端连接；

计算机(5)，分别与激光器控制板、平台控制器(4)、光学处理单元及相机单元实现双向通信；

所述激光二极管LD包括多种波长，不同波长的激光二极管LD在同一排间隔设置或分排排列且在列方向间隔设置。

2.根据权利要求1所述的一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统，其特征在于，所述光学处理及相机单元包括：

光学组件(223)，用于缩小或放大光纤阵列激光器(3)发出的光斑至设定尺寸范围；

对准相机(233)，用于获取待光刻的PCB板的对位位置；

吸盘(114)和标定相机(113)，所述标定相机(113)固定在吸盘(114)靠侧边位置，所述吸盘(114)用于吸附待光刻的PCB板。

3.根据权利要求2所述的一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统，其特征在于，所述对准相机(233)为2个。

4.根据权利要求1所述的一种用于绿油光刻的激光直写光刻系统，其特征在于，所述驱动单元包括设置在龙门架(2)上的

步进组件，包括固定在龙门架(2)的水平支撑柱(21)前侧面的步进轴(221)、驱使光学组件(223)在步进轴(221)上来回移动的步进驱动(222)；

扫描组件，包括固定在底部平台(1)上的扫描轴(111)、驱使吸盘(114)在扫描轴(111)上来回移动的扫描驱动(112)；

对准组件，包括固定在龙门架(2)的水平支撑柱(21)后侧面的对准轴(231)，驱使对准相机(233)在对准轴(231)上来回移动的对准驱动(232)；两个对准相机(233)通过对应的滑块在对准轴(231)上来回移动。