[发明专利]一种液态金属靶极紫外光源系统

权利要求书

1.一种液态金属靶极紫外光源系统， 其特征在于，包括：等离子体源（1）、真空腔室（2）、液态金属靶（20）、激光器（11）和真空泵（16），所述液态金属靶（20）从顶部插入真空腔室（2）内部，所述液态金属靶（20）内部盛装有液态金属（6），所述真空腔室（2）底部与等离子体源（1）连接，所述等离子体源（1）具有进气口（101）、放电区（102）和喷口（103），所述喷口（103）与真空腔室（2）连通，所述喷口（103）与液态金属靶（20）位置相对应，工作时所述液态金属靶（20）底部产生等离子蒸汽云团（3），所述等离子体源（1）通过等离子体电源（10）进行供电，所述真空腔室（2）外侧具有输入口（12）和引出口（8），所述输入口（12）处设置有激光器（11），所述激光器（11）产生的激光束（5）通过输入口（12）进入真空腔室（2）并轰击等离子蒸汽云团（3），所述引出口（8）供极紫引光光路（7）通过，所述真空腔室（2）外侧连通有真空泵（16），所述等离子体源（1）和真空腔室（2）下部区域外侧设置有磁场线圈（9），所述磁场线圈（9）通过线圈电源（14）供电。

2.根据权利要求1所述的一种液态金属靶极紫外光源系统，其特征在于，所述液态金属靶（20）顶部设置有储存罐（19），所述储存罐（19）内储存有液态金属（6）。

3.根据权利要求2所述的一种液态金属靶极紫外光源系统，其特征在于，所述储存罐（19）外部设置有加热器（18）。

4.根据权利要求1所述的一种液态金属靶极紫外光源系统，其特征在于，所述液态金属靶（20）底部设置有蒸发器（4）。

5.根据权利要求1所述的一种液态金属靶极紫外光源系统，其特征在于，所述液态金属靶（20）位于真空腔室（2）内部一段的外侧设置有第一加热丝（13）。

6.根据权利要求1所述的一种液态金属靶极紫外光源系统，其特征在于，所述液态金属靶（20）位于真空腔室（2）外部一段的外侧设置有第二加热丝（17）。

7.根据权利要求1所述的一种液态金属靶极紫外光源系统，其特征在于，所述真空腔室（2）外部设有接地端（15）。

8.根据权利要求3所述的一种液态金属靶极紫外光源系统，其特征在于，所述加热器（18）外部设置有保温层。

9.根据权利要求6所述的一种液态金属靶极紫外光源系统，其特征在于，所述第二加热丝（17）外设有保温层。