[发明专利]一种全固态薄膜锂电池正极薄膜的制造方法及锂电池有效
| 申请号： | 202110300811.3 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113066963B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 吴勇民;陈玉华;田文生;杨瑰婷;贾荻;朱蕾;汤卫平 | 申请（专利权）人： | 上海空间电源研究所 |
| 主分类号： | H01M4/1391 | 分类号： | H01M4/1391;H01M4/04;H01M4/131;H01M10/052 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 贾慧琴;包姝晴 |
| 地址： | 200245 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固态 薄膜 锂电池 正极 制造 方法 | ||
1.一种全固态薄膜锂电池正极薄膜的制造方法，其特征在于，包含：
步骤1，采用磁控溅射法制备富氧正极薄膜，并退火晶化；
步骤2，在步骤1制备的富氧正极薄膜的表面，采用磁控溅射法制备高活性正极薄膜并退火；
其中，所述制备方法的退火温度不大于500℃；
制备所述富氧正极薄膜和所述高活性正极薄膜的靶材为层状结构材料；
步骤1的工作气体为氩氧混合气，其中氧含量质量百分数不小于5%；
步骤2的工作气体为高纯氩气，以降低溅射沉积气氛中的氧含量。
2.根据权利要求1所述的全固态薄膜锂电池正极薄膜的制造方法，其特征在于，制备所述富氧正极薄膜和所述高活性正极薄膜的靶材相同。
3.根据权利要求2所述的全固态薄膜锂电池正极薄膜的制造方法，其特征在于，所述靶材为钴酸锂、镍钴锰酸锂三元中的一种或两种材料的复合。
4.根据权利要求2所述的全固态薄膜锂电池正极薄膜的制造方法，其特征在于，溅射气压不高于1.6Pa。
5.根据权利要求1所述的全固态薄膜锂电池正极薄膜的制造方法，其特征在于，对所述富氧正极薄膜退火处理时，升温速度不小于25℃/min，保温时间为1-900min。
6.根据权利要求1所述的全固态薄膜锂电池正极薄膜的制造方法，其特征在于，对所述高活性正极薄膜退火处理时，程序控温，分为低温段、中温段、高温段三段温度进行升温，低温段升温速度控制为1~10℃/min，保温时间为1-60min；中温段升温速度控制为10~20℃/min，保温时间为1-60min；高温段升温速度控制为15~30℃/min，保温时间为60-900min。
7.一种全固态薄膜锂电池，其特征在于，包含权利要求1至6中任意一项所述的制造方法制造得到的正极薄膜。
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