[发明专利]一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置

说明书

本发明涉及一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。本发明提供的方案，可有效解决敲击杆在敲击过程中松动、敲击不到位和粘靶的问题，且触发碳头不易脱落，避免触发碳头过快损耗，降低故障率，有效保证镀膜的稳定进行。

技术领域

本发明涉及溅射镀膜设备领域，具体涉及一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置。

背景技术

纯离子镀膜技术（Pure Ion Coating–PIC）作为新的一种制备Ta-C涂层的技术，目前已广泛应用于军工、航空航天、机加工、汽车、3C消费电子、半导体等领域。通过PIC技术制备的涂层具有极高的硬度、耐磨和耐腐蚀性能。PIC设备作为新型镀膜设备，在设计上仍有较多需要优化的地方，如敲击杆装置，现有的敲击杆装置在使用过程中往往会出现敲击杆松动、触发碳头脱落、触发碳头过快损耗、动力传动不顺、敲击不到位等问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其至少可以克服上述一种缺陷。

一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。

进一步的方案为：

敲击杆远离转动杆的端部设置有装配孔，装配孔的孔深方向与敲击杆的杆长方向、转动杆的杆长方向均呈垂直状布置，触发碳头插设状装配在装配孔内，触发碳头的局部延伸至装配孔一端的外部用于敲击碳靶，装配孔的另一端设置有用于抵靠触发碳头的抵靠部。

敲击杆远离转动杆的端部装配有碳头安装块，碳头安装块上设置有所述的装配孔，装配孔为通孔，所述的抵靠部为碳头安装块上设置的碳头抵靠块的构成，碳头抵靠块的外表面和触发碳头相贴合抵靠。

碳头安装块沿敲击杆的杆长方向活动可调节式装配在敲击杆上，碳头抵靠块和碳头安装块可拆卸式装配。

进一步的方案为：

转动杆的旁侧设置有用于检测转动杆转动状态的检测组件，检测组件将检测的信号输送到调控组件进行分析处理，调控组件依据分析处理的结果调控转动调节组件的运行状态。

转动杆上设置有标记处，检测组件检测标记处的位置信号。

转动杆的杆中部安装在轴承座上，转动杆的另一端设置有传感片，标记处为传感片周边设置的缺口构成。

检测组件由传感片外周设置的A、B传感器组成，A、B传感器装配在敲击安装座上设置的传感器支架上。

转动调节组件包括转动杆上设置的A齿轮和敲击安装座上设置的旋转气缸，旋转气缸的动力输出转轴上设置有B齿轮，A、B齿轮传动啮合连接，调控组件调控旋转气缸的运行状态。

控制组件包括PC端、正转速度控制器和反转速度控制器，PC端接收A、B传感器检测的信号进行分析处理，正转速度控制器和反转速度控制器通过调控通气状态调整旋转气缸的动力输出转轴进行正、反转，PC端发送指令调控正、反转速度控制器的通气状态。

转动杆的一端设置有A螺纹杆段，敲击杆通过螺纹防松结构装配在A螺纹杆段处。

敲击杆的端部设置有螺纹安装孔，敲击杆通过螺纹安装孔装配在A螺纹杆段上，触发碳头敲击碳靶时，碳靶作用于触发碳头的反作用力使得螺纹安装孔具有拧紧的趋势。