[发明专利]一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置

权利要求书

1.一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。

2.根据权利要求1所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：敲击杆远离转动杆的端部设置有装配孔，装配孔的孔深方向与敲击杆的杆长方向、转动杆的杆长方向均呈垂直状布置，触发碳头插设状装配在装配孔内，触发碳头的局部延伸至装配孔一端的外部用于敲击碳靶，装配孔的另一端设置有用于抵靠触发碳头的抵靠部。

3.根据权利要求2所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：敲击杆远离转动杆的端部装配有碳头安装块，碳头安装块上设置有所述的装配孔，装配孔为通孔，所述的抵靠部为碳头安装块上设置的碳头抵靠块的构成，碳头抵靠块的外表面和触发碳头相贴合抵靠。

4.根据权利要求1所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆的旁侧设置有用于检测转动杆转动状态的检测组件，检测组件将检测的信号输送到调控组件进行分析处理，调控组件依据分析处理的结果调控转动调节组件的运行状态。

5.根据权利要求4所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆上设置有标记处，检测组件检测标记处的位置信号。

6.根据权利要求5所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆的杆中部安装在轴承座上，转动杆的另一端设置有传感片，标记处为传感片周边设置的缺口构成。

7.根据权利要求6所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：检测组件由传感片外周设置的A、B传感器组成，A、B传感器装配在敲击安装座上设置的传感器支架上。

8.根据权利要求4或7所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动调节组件包括转动杆上设置的A齿轮和敲击安装座上设置的旋转气缸，旋转气缸的动力输出转轴上设置有B齿轮，A、B齿轮传动啮合连接，调控组件调控旋转气缸的运行状态。

9.根据权利要求8所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：控制组件包括PC端、正转速度控制器和反转速度控制器，PC端接收A、B传感器检测的信号进行分析处理，正转速度控制器和反转速度控制器通过调控通气状态调整旋转气缸的动力输出转轴进行正、反转，PC端发送指令调控正、反转速度控制器的通气状态。

10.根据权利要求4或7所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆的一端设置有A螺纹杆段，敲击杆通过螺纹防松结构装配在A螺纹杆段处。

11.根据权利要求3所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：碳头安装块沿敲击杆的杆长方向活动可调节式装配在敲击杆上，碳头抵靠块和碳头安装块可拆卸式装配。

12.根据权利要求10所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：敲击杆的端部设置有螺纹安装孔，敲击杆通过螺纹安装孔装配在A螺纹杆段上，触发碳头敲击碳靶时，碳靶作用于触发碳头的反作用力使得螺纹安装孔具有拧紧的趋势。

13.根据权利要求10所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆通过A、B轴承和A、B油封转动装配在轴承座上，A轴承、B轴承、A油封、B油封沿着转动杆的长度方向依次布置，A、B轴承之间的转动杆身上设置有A垫片，A、B油封之间的转动杆身上设置有B垫片，轴承座包括轴承座本体和轴承座本体端部设置的轴承座盖。

14.根据权利要求10所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：A齿轮介于传感片和轴承座之间。