[发明专利]检测装置

说明书

一种检测装置，包括：至少1个第一电极，配置于检测部；第二电极，设置于检测部的外侧并且包围检测部；第三电极，与检测部重叠；第一绝缘层，位于至少1个第一电极与第三电极之间；以及第二绝缘层，覆盖第三电极。至少1个第一电极由多个第一电极构成，多个第一电极相互分离，多个第一电极在第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向上配置为矩阵状，第三电极配置于与多个第一电极分离的部分重叠的区域。

本申请基于并要求于2010年4月1日提交的在先日本专利申请第2020-065758号的优先权的权益，其全部内容结合于此作为参照。

技术领域

本发明的一实施方式涉及一种检测装置。在本说明书中公开的发明的一实施方式涉及一种对检测对象物的表面的细微凹凸进行测定的检测装置。

背景技术

已知一种对指纹等细微的表面形状进行识别的接触式的检测装置。例如公开了一种检测装置，具有：多个传感器电极，配置为矩阵状；钝化膜，覆盖该传感器电极；和电容检测电路，对在检测对象物接触到钝化膜的表面时而在传感器电极与检测对象物的表面之间生成的静电电容进行检测，其中设置有消除钝化膜表面的静电的接地电极(例如，参照日本特开2001-324303号公报)。

发明内容

本发明的一实施方式所涉及的检测装置包括：至少1个第一电极，配置于检测部；第二电极，设置于检测部的外侧并且包围检测部；第三电极，与检测部重叠；第一绝缘层，位于至少1个第一电极与第三电极之间；和第二绝缘层，覆盖第三电极。

附图说明

图1是示出本发明的一实施方式所涉及的检测装置的结构的框图。

图2是示出本发明的一实施方式所涉及的检测装置的检测部的电路结构的一例的图。

图3是示意性地示出在本发明的一实施方式所涉及的检测装置中，从发送用电极经由检测对象物向第一电极传递检测信号的情况的图。

图4是示意性地示出本发明的一实施方式所涉及的检测装置的设置有检测部的基板的结构、以及设置于基板的外侧的发送用电极的配置的俯视图。

图5是示出本发明的一实施方式所涉及的检测装置的检测部的俯视图，是示出由图4所示的虚线所包围的区域D的构造的放大图。

图6是示出本发明的一实施方式所涉及的检测装置的检测部和周边区域的剖视图，示出与图5所示的A1-B1线相对应的构造和保护环的构造。

图7A和7B是示出本发明的一实施方式所涉及的检测装置的端子部的结构的俯视图。

图8是示出本发明的一实施方式所涉及的检测装置的端子部的构造的剖视图。

图9A和9B是示出本发明的一实施方式所涉及的检测装置的第三电极的图案的俯视图。

图10A和10B是示出本发明的一实施方式所涉及的检测装置的第三电极的图案的俯视图。

符号说明

100：检测装置；102：检测部；104：第一电极；106：第二电极；108：第三电极；110：第一布线；112：第二布线；114：栅极驱动器；116：复用器；118：信号处理电路；120：控制电路；122：栅极信号线；124：数据信号线；126：公共信号线；128：开关元件；130：盖板玻璃；132：保护环；134：端子部；136：第一端子电极；137：虚设端子电极；138：第二端子电极；200：基板；202：栅极电极；204：栅极绝缘层；206：半导体层；208：层间绝缘层；209：源极电极；210：漏极电极；212：平坦化层；214：第一绝缘层；216：第二绝缘层；218：第一导电层；220：第二导电层；222：第三导电层；224：第一开口部；226：第二开口部；228：第三开口部；300：检测对象物。

具体实施方式