[发明专利]一种固定宽度的单位方块电阻建模方法在审
申请号: | 202110274611.5 | 申请日: | 2021-03-15 |
公开(公告)号: | CN112966387A | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 刘素吉;王伟 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G06F30/20 | 分类号: | G06F30/20;G06F111/10 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 周耀君 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 固定 宽度 单位 方块 电阻 建模 方法 | ||
本发明公开了一种固定宽度的单位方块电阻建模方法,所述建模方法根据实际测试数据分析方块数与方块电阻的关系,进而得到具体的电阻模型公式以调节电阻模型,从而得到最终的电阻模型,本发明解决了已有电阻模型无法兼顾小方块数电阻的难题,从而实现对同一宽度不同方块数的方块电阻模型可调,建立更精确的电阻模型的目的。
技术领域
本发明涉及一种方块电阻建模方法,特别是涉及一种固定宽度的单位方块电阻建模方法。
背景技术
目前已有的电阻模型能够对不同宽度(width)且方块数较大的方块电阻进行精确拟合,但是对于相同宽度(width)不同方块数的方块电阻缺乏相关的模型参数去拟合。因此,目前对于相同宽度(width)的方块电阻,通常只能精确拟合方块数大的电阻,方块数小的电阻模型无法兼顾到。
发明内容
为克服上述现有技术存在的不足,本发明之目的在于提供一种固定宽度的单位方块电阻建模方法,以解决已有电阻模型无法兼顾小方块数电阻的难题,实现对同一宽度(width)不同方块数的方块电阻模型可调,建立更精确的电阻模型。
为达上述及其它目的,本发明提出一种固定宽度的单位方块电阻建模方法,所述建模方法根据实际测试数据分析方块数与方块电阻的关系,进而得到具体的电阻模型公式以调节电阻模型,从而得到最终的电阻模型。
优选地,所述建模方法包括如下步骤:
步骤S1,基于实际测试数据,提取同类型相同宽度不同方块数的方块电阻;
步骤S2,根据得到的方块数与方块电阻的关系进行分析和拟合,找到固定宽度下方块电阻随方块数变化的趋势线,则可得到固定宽度下方块电阻与方块数的关系式;
步骤S3,将所得的方块电阻与方块数的关系式添加到电阻计算公式中,调节公式中的相关电阻模型参数,得到最终模型。
优选地,于步骤S1之前,所述方法还包括:
利用WAT测试不同类型不同尺寸的电阻数据,获得若干实际测试数据。
优选地,所述实际测试数据包括各方块电阻的方块电阻值。
优选地,于步骤S3中,精确调节新方块电阻系数RshN、实际方块电阻长度方向偏移量DL、实际方块电阻度方向偏移量DW。
优选地,于步骤S3中,调节新方块电阻系数RshN、实际方块电阻长度方向偏移量DL、实际方块电阻度方向偏移量DW,使模型的单位方块电阻值与WAT 方块电阻系数测试值的差值调至最小。
优选地,于步骤S3后,还包括如下步骤:
步骤S4,对构建的电阻模型进行校验。
优选地,步骤S4进一步包括:
首先,固定宽度(width),仿真得到方块电阻值随长度变化的曲线;
对宽度方向的验证完成之后,再固定方块数N,仿真得到方块电阻值随宽度变化的曲线。
与现有技术相比,本发明一种固定宽度的单位方块电阻建模方法通过根据实测数据分析方块数与方块电阻的关系,进而得到具体的电阻模型公式来调节相同宽度(width)不同方块数的电阻模型,能够解决已有电阻模型无法兼顾小方块数电阻的难题,实现对同一宽度(width)不同方块数的方块电阻模型可调,建立更精确的电阻模型。
附图说明
图1为本发明一种固定宽度的单位方块电阻建模方法的步骤流程图;
图2为本发明实施例中一种固定宽度的单位方块电阻建模方法的步骤流程图;
图3为本发明实施例中不同方块数与方块电阻的趋势线图;
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