[发明专利]一种固定宽度的单位方块电阻建模方法

权利要求书

1.一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，其特征在于：所述建模方法根据实际测试数据分析方块数与方块电阻的关系，进而得到具体的电阻模型公式以调节电阻模型，从而得到最终的电阻模型。

2.如权利要求1所述的一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，其特征在于，所述建模方法包括如下步骤：

步骤S1，基于实际测试数据，提取同类型相同宽度不同方块数的方块电阻；

步骤S2，根据得到的方块数与方块电阻的关系进行分析和拟合，找到固定宽度下方块电阻随方块数变化的趋势线，则可得到固定宽度下方块电阻与方块数的关系式；

步骤S3，将所得的方块电阻与方块数的关系式添加到电阻计算公式中，调节公式中的相关电阻模型参数，得到最终模型。

3.如权利要求2所述的一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，其特征在于，于步骤S1之前，所述方法还包括：

利用WAT测试不同类型不同尺寸的电阻数据，获得若干实际测试数据。

4.如权利要求3所述的一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，其特征在于：所述实际测试数据包括各方块电阻的方块电阻值。

5.如权利要求4所述的一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，其特征在于：于步骤S3中，精确调节新方块电阻系数R_shN、实际方块电阻长度方向偏移量DL、实际方块电阻度方向偏移量DW。

6.如权利要求5所述的一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，其特征在于：于步骤S3中，调节新方块电阻系数R_shN、实际方块电阻长度方向偏移量DL、实际方块电阻度方向偏移量DW，使模型的单位方块电阻值与WAT方块电阻系数测试值的差值调至最小。

7.如权利要求6所述的一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，其特征在于，于步骤S3后，还包括如下步骤：

步骤S4，对构建的电阻模型进行校验。

8.如权利要求7所述的一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，其特征在于，步骤S4进一步包括：

首先，固定宽度width，仿真得到方块电阻值随长度变化的曲线；

对宽度方向的验证完成之后，再固定方块数N，仿真得到方块电阻值随宽度变化的曲线。