[发明专利]一种数字投影系统间光轴平行度调整方法

权利要求书

1.一种数字投影系统间光轴平行度调整方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将具有横向和纵向尺寸分辨能力的二维刻度尺(1)置于精密位移台(2)的载物台(3)；

步骤2：将数字投影系统放置于相对精密位移台(2)的合理位置，并调整数字投影系统的位置，使其光轴与精密位移台(2)移动轴的夹角在45°以内；

步骤3：编码能够标识数字投影系统光心的特征图案，将所述特征图案由数字投影系统投射到二维刻度尺(1)上；

步骤4：使精密位移台(2)的载物台(3)移动设定距离，记录移动前、后数字投影系统距二维刻度尺(1)距离，以及特征图案在二维刻度尺(1)的投影中心在二维刻度尺(1)上的读数；

步骤5：由步骤4所测读数计算数字投影系统(6)所需调整量，据此实现对数字投影系统的位姿调整；

步骤6：重复步骤2～5，完成对剩余数字投影系统光轴平行度的调整。

2.根据权利要求1所述的一种数字投影系统间光轴平行度调整方法，其特征在于，所述步骤1中，二维刻度尺(1)的测量面法向与精密位移台(2)移动轴平行，二维刻度尺(1)的测量面X轴方向与载物台(3)承载面平行。

3.根据权利要求1所述的一种数字投影系统间光轴平行度调整方法，其特征在于，所述步骤2中，合理位置是指精密位移台(2)的载物台(3)移动范围位于数字投影系统有效视场内。

4.根据权利要求1所述的一种数字投影系统间光轴平行度调整方法，其特征在于，所述步骤3中，特征图案为十字刻线(5)。

5.根据权利要求1所述的一种数字投影系统间光轴平行度调整方法，其特征在于，所述步骤4中，特征图案在二维刻度尺(1)上的读数包括载物台(3)移动前、后的特征图案中心坐标(x_近,y_近)和(x_远,y_远)，其中，x_近为载物台(3)移动前的特征图案中心横坐标，y_近为载物台移动前的特征图案中心纵坐标，x_远为载物台移动后的特征图案中心横坐标，y_远为载物台移动后的特征图案中心纵坐标。

6.根据权利要求5所述的一种数字投影系统间光轴平行度调整方法，其特征在于，所述步骤4中，精密位移台的载物台(3)移动前、后数字投影系统距二维刻度尺距离分别为l_近、l_远，则所述步骤5中的位姿调整量采用下式计算：

其中：Δx表示将数字投影系统特征图案中心点在二维刻度尺X轴方向上调整的距离，Δy表示将数字投影系统特征图案中心点在二维刻度尺Y轴方向上调整的距离。