[发明专利]零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质

说明书

本申请提供一种零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质。该方法包括：调整扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，在预设方向上，偏移位置与零位位置之间具有偏移量；通过扫描机构采集光谱信号，并根据光谱信号获取待测物各膜层相对零位位置之间的多个距离；及根据每个距离及偏移量确定干涉物镜相对待测物的各膜层的零相位差位置。本申请的零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质中，通过干涉物镜相对零位位置的偏移量及实时计算得到的待测物的各膜层相对零位位置的距离，解算出待测物的各膜层对应的零相位差位置，缩短扫描时间，提高测量效率。

技术领域

本申请涉及测量技术领域，更具体而言，涉及一种零相位差位置寻找方法、扫描系统及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

目前，采用白光干涉技术测量工件表面时，其中光源多为低相干光源，干涉区域只在有限的空间范围内出现，测量范围不可避免包含大量无干涉区域，若零相位差位置定位不好，容易延长干涉仪扫描时间，影响测量效率。

发明内容

本申请实施方式提供一种零相位差位置寻找方法、扫描系统及非易失性计算机可读存储介质。

本申请实施方式的零相位差位置寻找方法包括：调整扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，在预设方向上，偏移位置与零位位置之间具有偏移量；通过扫描机构采集光谱信号，并根据光谱信号获取待测物各膜层相对零位位置之间的多个距离；及根据每个距离及偏移量确定干涉物镜相对待测物的各膜层的零相位差位置。

本申请实施方式的一种扫描系统，包括用于对待测物进行扫描检测的扫描机构及一个或多个处理器。扫描机构包括干涉物镜。一个或多个处理器用于：控制调整扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，在预设方向上，偏移位置与零位位置之间具有偏移量；扫描机构用于采集光谱信号，一个或多个处理器还用于根据光谱信号获取待测物各膜层相对零位位置之间的多个距离；及根据每个距离及偏移量获取干涉物镜相对待测物的各膜层的零相位差位置。

本申请实施方式的一种非易失性计算机可读存储介质存储有计算机程序，当计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得处理器能够实现如下零相位差位置寻找方法：调整扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，在预设方向上，偏移位置与零位位置之间具有偏移量；通过扫描机构采集光谱信号，并根据光谱信号获取待测物各膜层相对零位位置之间的多个距离；及根据每个距离及偏移量确定干涉物镜相对待测物的各膜层的零相位差位置。

本申请的零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质中，通过干涉物镜相对零位位置的偏移量及实时计算得到的待测物的各膜层相对零位位置的距离，解算出待测物的各膜层对应的零相位差位置，缩短扫描时间，提高测量效率。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的零相位差位置寻找方法的流程图；

图2是本申请某些实施方式的扫描系统的结构示意图；

图3a和图3b是本申请某些实施方式的零相位差位置寻找方法的示意图；

图4至图7是本申请某些实施方式的零相位差位置寻找方法的流程图；

图8是本申请某些实施方式的零相位差位置寻找方法中的波长与光谱信号的示意图；

图9是本申请某些实施方式的零相位差位置寻找方法中的扫描方向与膜层响应的示意图；