[发明专利]低温泵及低温泵的控制方法

说明书

本发明提供一种在低温泵的再生期间能够使通气阀在适当的时刻打开的低温泵。低温泵(10)具备：低温泵容器(16)；压力传感器(22)，测定低温泵容器(16)内的压力，并生成表示测定压力的时序压力数据；通气阀(28)，设置于低温泵容器(16)上，且其可以基于控制而被开闭并且也可以基于低温泵容器(16)内外的压差而被机械性地打开；及控制器(20)，在低温泵再生期间，根据来自压力传感器(22)的时序压力数据来检测测定压力的稳定化，并在检测到了测定压力的稳定化时进行使通气阀(28)打开的控制。

本申请主张基于2020年3月18日申请的日本专利申请第2020-048148号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种低温泵及低温泵的控制方法。

背景技术

低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板上并进行排出的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵是所谓的气体捕集式真空泵，因此需要定期进行将捕捉到的气体向外部排出的再生。

在已知低温泵中，根据由压力传感器测定的低温泵内压来控制用于排出气体的通气阀的开闭动作。并且，该通气阀构成为通过低温泵内外的压差被机械性地打开的安全阀，其能够释放在再生期间可能会在低温泵内产生的过高的压力。

专利文献1：日本特开2012-149530号公报

本发明人对上述低温泵进行了研究，并认识到以下问题。作为设置于低温泵的压力传感器，采用能够测定真空(优选能够测定从真空至大气压)的类型的压力传感器。在大多数情况下，这种压力传感器并不直接测定压力，而是根据气体与传感器之间的相互作用而间接测定压力。例如，皮拉尼真空计根据热传导进行测定，其具有高温的金属细线，并基于与金属细线冲撞的气体分子吸收热量而冷却金属细线来测定压力。这种间接测定方式不可避免取决于气体温度或气体物性的测定误差。

在低温泵的再生期间，低温泵的温度从超低温到室温或比其更高温度的宽温度范围内发生变动，而且，在低温泵内包含捕捉到的各种类型的气体气化并混合而成的气体。因此，在低温泵的再生期间获得的压力传感器的测定压力可能包括大误差。其结果，基于压力传感器的测定压力的通气阀的开闭动作也可能变得不准确。

发明内容

本发明的一种实施方式的示例性目的之一为，在低温泵的再生期间使通气阀在准确的时刻打开。

根据本发明的一种实施方式，低温泵具备：低温泵容器；压力传感器，测定低温泵容器内的压力，并生成表示测定压力的时序压力数据；通气阀，设置于低温泵容器上，所述通气阀可以基于控制而被开闭并且也可以基于低温泵容器内外的压差而被机械性地打开；及控制器，在低温泵再生期间，根据来自压力传感器的时序压力数据来检测测定压力的稳定化，并在检测到了测定压力的稳定化使进行使通气阀打开的控制。

根据本发明的一种实施方式，提供一种低温泵的控制方法。低温泵具备：低温泵容器；压力传感器；及通气阀，设置于低温泵容器上，所述通气阀可以基于控制而被开闭并且也可以基于低温泵容器内外的压差而被机械性地打开。控制方法具备如下步骤：使用压力传感器测定低温泵容器内的压力，并生成表示测定压力的时序压力数据；及根据时序压力数据来检测测定压力的稳定化，并在检测到了测定压力的稳定化时进行使通气阀打开的控制。

另外，以上构成要件的任意组合或将本发明的构成要件或表述在方法、装置及系统等之间彼此替换的方式也作为本发明的实施方式而有效。

根据本发明，在低温泵的再生期间能够使通气阀在准确的时刻打开。

附图说明

图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵的图。

图2是更详细地表示图1所示的通气阀的示意图。

图3是表示在低温泵的再生期间可能会产生的低温泵容器的内压上升的示意图。