[发明专利]低温泵及低温泵的控制方法

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

低温泵容器；

压力传感器，测定所述低温泵容器内的压力，并生成表示测定压力的时序压力数据；

通气阀，设置于所述低温泵容器上，并且所述通气阀可以基于控制而被开闭并且也可以基于所述低温泵容器内外的压差而被机械性地打开；及

控制器，在低温泵再生期间，根据来自所述压力传感器的所述时序压力数据来检测所述测定压力的稳定化，并在检测到了所述测定压力的稳定化时进行使所述通气阀打开的控制。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

在将所述低温泵从超低温升温到再生温度的期间，所述控制器根据所述时序压力数据来检测所述测定压力的稳定化，并在检测到了所述测定压力的稳定化时进行使所述通气阀打开的控制。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述控制器在所述测定压力超过了压力阈值且检测到了所述测定压力的稳定化时进行使所述通气阀打开的控制。

4.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述控制器根据所述时序压力数据运算出所述测定压力的变化量，并将所述测定压力的变化量与变化量阈值进行比较，若所述测定压力的变化量小于变化量阈值，则进行使所述通气阀打开的控制。

5.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述控制器在检测到了所述测定压力的稳定化时从所述时序压力数据中获取基于控制即将打开所述通气阀之前和/或开阀之后的所述测定压力，并根据所获取的所述测定压力来设定设定压力，

所述控制器将所述测定压力与所述设定压力进行比较，并在所述测定压力超过了所述设定压力时进行使所述通气阀打开的控制。

6.一种低温泵的控制方法，所述低温泵具备：低温泵容器；压力传感器；及通气阀，设置于所述低温泵容器上，所述通气阀可以基于控制而被开闭并且也可以基于所述低温泵容器内外的压差而被机械性地打开，所述控制方法的特征在于，具备如下步骤：

使用所述压力传感器测定所述低温泵容器内的压力，并生成表示测定压力的时序压力数据；

根据所述时序压力数据来检测所述测定压力的稳定化，并在检测到了所述测定压力的稳定化时进行使所述通气阀打开的控制。