[发明专利]阵列基板与显示面板有效
申请号: | 202110239277.X | 申请日: | 2021-03-04 |
公开(公告)号: | CN112799257B | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 杨从星;管延庆;袁学斌;汤富雄 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;H01L27/12 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 显示 面板 | ||
本发明提供了一种阵列基板以及显示面板,所述阵列基板包括基板;遮光层,设置于所述基板上;有源层,设置于所述遮光层与基板上,所述有源层在第一方向上的宽度大于所述遮光层,使得所述有源层在由所述遮光层过渡至所述基板的位置形成台阶区,在所述台阶区连接有桥接部,所述桥接部由导体材料或半导体材料构成。通过在遮光层边缘形成的台阶区设置桥接部,而桥接区选用可导电的材料构成,避免因有源层在台阶区因膜层厚度偏薄甚至断裂而导致薄膜晶体管电性恶化甚至开路的不良出现,从而有效提高阵列基板的良率。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种阵列基板与显示面板。
背景技术
现如今,液晶显示器作为当今显示设备的主流,在日常生活中的手机、电脑等电子器件中随处可见,这种显示设备是基于薄膜晶体管的有源阵列,控制液晶的电压,进而使液晶偏转角度发生改变,使透过的三基色亮度发生不同程度的偏差,形成明暗相间的图案,以此实现对画面显示的调控,薄膜晶体管期间的微小电性波动将导致液晶偏转角度偏差,进而使画面显示异常,因此其性能异常重要。
目前的显示薄膜晶体管器件大多使用硅材料(非晶硅、多晶硅),其显示原理是通过硅材料独特的半导体特性控制液晶偏转电场大小而实现。根据目前的文献报道,有源层自身硅材料通常对光信号(例如显示设备的背光源等)非常敏感,光信号的激励会导致处于关态的薄膜晶体管电流信号激增。当这个光信号激励产生的电流信号进一步增大时,会导致薄膜晶体管的开关比下降,本该关闭的液晶出现偏转,最终导致画面显示出现异常。为避免出现上述显示问题,目前大部分产品普遍增设遮光层结构,即在有源层底部添加方块形金属,充当遮光层,以遮挡背光源光线对薄膜晶体管关键区域的影响。基于开口率等光学效果的实际考虑,遮光层的尺寸设计的普遍较小,未能包裹住有源层全部面积,在有或无遮光层金属块体的区域将会出现有缘层硅材料弯曲,出现爬坡现象。由于硅材料非柔性材料,这种爬坡现象附加后续的准分子激光退火、物理或化学蚀刻等制程及应力影响,极有可能导致有缘层变窄、断裂等情况出现,最终造成产品的良率损失。
发明内容
本发明提供一种阵列基板与显示面板,可以避免因遮光层形成台阶,而导致有源层膜厚偏薄甚至断裂,进而导致显示异常的问题。
为解决上述问题,第一方面,本发明提供一种阵列基板,所述阵列基板包括:
基板;
遮光层,设置于所述基板上;
有源层,设置于所述遮光层与基板上,所述有源层在第一方向上的宽度大于所述遮光层,使得所述有源层在由所述遮光层过渡至所述基板的位置形成台阶区,在所述台阶区连接有桥接部,所述桥接部由导体材料或半导体材料构成。
进一步地,所述有源层在所述台阶区设有凹槽,所述桥接部设置于所述凹槽中。
进一步地,所述凹槽部分或完全贯穿所述有源层。
进一步地,所述阵列基板还包括栅极,所述栅极与所述桥接部由同一成膜工艺与图案化工艺制得。
进一步地,所述阵列基板还包括源漏极,所述源漏极与所述桥接部由同一成膜工艺与图案化工艺制得。
进一步地,所述有源层上依次设置有栅极绝缘层与第一金属层,所述第一金属层包括所述栅极与所述桥接部,所述栅极绝缘层在所述台阶区的对应位置形成第一通孔,使得所述桥接部通过所述第一通孔形成于所述台阶区。
进一步地,所述有源层上依次设置有栅极绝缘层、第一金属层、层间绝缘层以及第二金属层,所述第二金属层包括所述源漏极与所述桥接部,所述栅极绝缘层在所述台阶区的对应位置形成第一通孔,所述层间绝缘层在所述台阶区的对应位置形成第二通孔,使得所述桥接部通过所述第一通孔与第二通孔形成于所述台阶区。
进一步地,所述遮光层对应地设置于所述有源层沟道区域的下侧。
进一步地,所述有源层的材料包括非晶硅或低温多晶硅。
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