[发明专利]温度传感器和温度测量装置及温度测量方法

说明书

本发明提供这样的温度传感器和温度测量装置及温度测量方法，即，在利用温度传感器测量极低温的被测量体的温度时，能够抑制将构成温度传感器的电阻体和热锚部连接起来的引线断线。一种温度传感器，其安装于极低温的被测量体，借助引线将测量温度数据向测量温度输出部发送，该温度传感器具有：收纳体；电阻体，其位于所述收纳体的内部；以及热锚部，其位于所述收纳体的内部或外部，利用所述引线连接，从所述热锚部延伸配置的所述引线与所述测量温度输出部相连接。

技术领域

本公开涉及温度传感器和温度测量装置及温度测量方法。

背景技术

在专利文献1中公开了一种极低温装置，该极低温装置设为，在极低温部配设有由电阻体构成的温度测量元件，并且将测量线从温度测量元件引导至室温部，在室温部测量极低温部的温度。该极低温装置具有：第1热锚，其与温度测量元件相连接，安装于预定的安装部；第2热锚，其与第1热锚相连接，安装于预定的安装部；以及测量线，其从第2热锚被引导至室温部。而且，以使第1热锚与极低温部之间的温度差成为第2热锚与极低温部之间的温度差的1/10的方式设定第1热锚、第2热锚的各安装部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平1－110227号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供如下的温度传感器和温度测量装置及温度测量方法，即，在利用温度传感器测量极低温的被测量体的温度时，能够抑制将构成温度传感器的电阻体和热锚部连接起来的引线断线。

用于解决问题的方案

本公开的一技术方案的温度传感器安装于极低温的被测量体，借助引线将测量温度数据向测量温度输出部发送，其中，

该温度传感器具有：

收纳体；

电阻体，其位于所述收纳体的内部；以及

热锚部，其位于所述收纳体的内部或外部，利用所述引线连接，

从所述热锚部延伸配置的所述引线与所述测量温度输出部相连接。

发明的效果

根据本公开，在利用温度传感器测量极低温的被测量体的温度时，能够抑制将构成温度传感器的电阻体和热锚部连接起来的引线断线。

附图说明

图1是表示具有作为被测量体的一个例子的冷冻装置的基板处理装置的纵剖视图。

图2是表示构成基板处理装置并具有测量温度输出部的控制装置的硬件结构的一个例子以及外围设备的图。

图3是表示第1实施方式的温度传感器的一个例子的纵剖视图。

图4是表示第2实施方式的温度传感器的一个例子的纵剖视图。

图5是表示第1实施方式的温度测量装置的一个例子的示意图。

图6是表示第2实施方式的温度测量装置的一个例子的示意图。

具体实施方式

以下参照附图来说明本公开的实施方式的温度传感器和温度测量装置及温度测量方法。另外，在本说明书和附图中，对于实质上相同的构成要素，有时通过标注相同的附图标记来省略重复的说明。

[作为被测量体的基板处理装置]