[发明专利]显示基板检查方法在审
申请号: | 202110223195.6 | 申请日: | 2021-03-01 |
公开(公告)号: | CN113758942A | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 金明铁;金泰准;徐智勋;粱炅镐;龙文卿;尹睿智;崔纹诚 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人: | 朴英淑 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 检查 方法 | ||
显示基板检查方法包括:对包括多个单元的显示基板进行拍摄的步骤;基于按照所述显示基板的各个位置的明亮度判断所述单元的单元边缘的步骤;基于所述单元边缘的第一方向上的最外廓位置和所述单元边缘的第二方向上的最外廓位置设定扩张关注区域的步骤;基于按照所述显示基板的各个位置的明亮度判断所述扩张关注区域内的特异形状部的步骤;对所述特异形状部进行图像处理的步骤;以及以所述扩张关注区域为基准执行所述显示基板的不良检查的步骤。
技术领域
本发明涉及显示基板检查方法以及执行该显示基板检查方法的显示基板检查装置,更详细而言,涉及通过将关注区域扩张为最大来最小化非检查区域的显示基板检查方法以及执行该显示基板检查方法的显示基板检查装置。
背景技术
在显示器行业中正在持续地进行与产量的斗争,而产量的上升联系到价格竞争,因此产量成为对显示装置的制造成本产生很大影响的因素。为了使产量上升,虽然单位工序的作业可靠性也是重要的,但是最重要之一是检查设备。这是因为,用于对产量下降的原因进行分析并进行改善的首选是不良情况的检测。
在显示装置的检查中具有光学、计量、画质、电气等许多检查设备,并且在各个单位工序都进行许多彼此不同的检查。其中,光学检查设备可利用相机在微观上进行像素的几微米至几十微米单位的短路、断路以及细颗粒等的检查,并且在宏观上执行数百微米以上的巨大异物、残膜的检查等。
被指为光学检查设备的缺点的因素可以是因硬件的制约而产生的非检查区域。若不执行检查的非检查区域变大,则检查的准确性和可靠性可能减小。
此外,在对显示基板内的特异形状部执行单独的检查的情况下,存在检查时间增加的问题。
发明内容
本发明的技术课题是鉴于如上所述的情况完成的,本发明的目的在于提供一种通过将关注区域扩张为最大来最小化非检查区域的显示基板检查方法。
本发明的其他目的在于提供一种执行所述显示基板检查方法的显示基板检查装置。
用于实现本发明的上述的目的的一实施例涉及的显示基板检查方法包括:对包括多个单元的显示基板进行拍摄的步骤;基于按照所述显示基板的各个位置的明亮度判断所述单元的单元边缘的步骤;基于所述单元边缘的第一方向上的最外廓位置和所述单元边缘的第二方向上的最外廓位置设定扩张关注区域的步骤;基于按照所述显示基板的各个位置的明亮度判断所述扩张关注区域内的特异形状部的步骤;对所述特异形状部进行图像处理的步骤;以及以所述扩张关注区域为基准执行所述显示基板的不良检查的步骤。
在本发明的一实施例中,所述扩张关注区域可以是矩形形状。
在本发明的一实施例中,所述特异形状部可包括形成在所述扩张关注区域与所述单元边缘的角部边框之间的倒角部。
在本发明的一实施例中,所述特异形状部可包括:切口(notch)形状部,在所述第一方向上延伸的所述单元边缘的第一边处朝向单元区域的内部方向凹陷。
在本发明的一实施例中,在以所述扩张关注区域为基准执行所述显示基板的不良检查的步骤中,可对一般检查区域设定第一误差阈值,并且可对所述切口形状部设定比所述第一误差阈值大的第二误差阈值。
在本发明的一实施例中,所述特异形状部可包括:孔(Hole)形状部,配置在所述单元边缘的内部区域。
在本发明的一实施例中,所述孔形状部可在所述单元边缘的内部区域形成为闭合曲线形态。
在本发明的一实施例中,在以所述扩张关注区域为基准执行所述显示基板的不良检查的步骤中,可对一般检查区域设定第一误差阈值,并且可对所述孔形状部设定比所述第一误差阈值大的第三误差阈值。
在本发明的一实施例中,在对所述特异形状部进行图像处理的步骤中,可将与所述特异形状部相邻的周边部的明亮度信息变换为所述特异形状部的明亮度信息。
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