[发明专利]自动化的延迟线对准

权利要求书

1.一种用于在测量过程之前在光谱测量装置中预对准光束的系统，所述预对准系统包括：

电动的可调光延迟线，所述电动的可调光延迟线包括后向反射器并且可沿着平移轴沿着轨道移动；

位置敏感检测器；

第一电动双轴反射镜，所述第一电动反射镜定位成接收和传输入射光束；

第二电动双轴反射镜，所述第二电动反射镜相对于第一电动双轴反射镜定位以接收来自第一电动双轴反射镜的入射光束，并且将所述入射光束传输到所述延迟线的后向反射器，所述第二电动双轴反射镜的位置远离所述延迟线并且在所述延迟线之前；

分束器，所述分束器定位成接收来自所述延迟线的后向反射器的出射光束，并且将所述出射光束传输到位置敏感检测器；和

基于计算机的处理器，所述基于计算机的处理器与所述位置敏感检测器、所述延迟线以及所述第一电动双轴反射镜和第二电动双轴反射镜通信，所述处理器配置为：

a)接收和处理与来自所述位置敏感检测器的出射光束相关的数据，和

b)基于与所述出射光束在所述位置敏感检测器上的位置有关的数据，使所述第一电动双轴反射镜和第二电动双轴反射镜移动从而以设定角度定位所述第一电动双轴反射镜和第二电动双轴反射镜，使所述入射光束和所述出射光束沿着轨迹对准，使得所述入射光束进入平行于延迟线的平移轴的延迟线，并且所述出射光束在预对准过程期间随着所述延迟线的位置发生改变而入射到位置敏感检测器上，其位置的偏差不超过20微米；

所述处理器配置为在测量过程之前的预对准过程期间仅执行步骤a)和b)。

2.权利要求1的系统，其中所述光谱测量装置为泵浦-探测光谱测量装置。

3.权利要求1的系统，其中所述光谱测量装置为升频转换荧光光谱测量装置。

4.权利要求1的系统，其中所述光谱测量装置为光学门控光谱测量装置。

5.权利要求1的系统，其中所述第一电动双轴反射镜可绕垂直轴和水平轴改变。

6.权利要求1的系统，其中所述第二电动双轴反射镜可绕垂直轴和水平轴改变。

7.权利要求1的系统，其中所述位置敏感检测器选自：2D照相机，网络摄像机，和四象限光电检测器。