[发明专利]一种电子气体尾气智能回收装置及方法

说明书

本发明涉及电子气体尾气废气回收技术领域，具体为一种电子气体尾气智能回收装置及方法。本发明包括基板和操控台，基板顶部的一端设置有操控台，还包括：第一处理机构、检测机构、第二处理机构、第三处理机构、气体除潮机构和电子气体收集罐，基板顶部的另一端设置有第一处理机构，基板顶部位于操控台的一侧分别设置有第二处理机构和第三处理机构，基板顶部位于操控台的另一侧设置有气体除潮机构，且基板顶部位于第一处理机构的侧边安装有电子气体收集罐，第一处理机构包括第一处理箱。本发明结构紧凑，操作连续，方便对装置进行移动，节省成本且回收效率高。

技术领域

本发明涉及电子气体尾气废气回收技术领域，具体为一种电子气体尾气智能回收装置及方法。

背景技术

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑原材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度﹑特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性，电子气体无论用作清洗剂还是蚀刻剂,利用率只有30-70%,因此电子气体尾气中含有大量未利用的电子气体以及清洗蚀刻过程中生成的(C-H)n聚合物,同时大多数电子气体是温室气体,是半导体工业中最大的温室气体排放源:电子气体尾气排放不仅造成电子气体的浪费还影响环保。

现有电子气体尾气回收装置一般直接设置有多个喷淋塔，通过不断的对气体的喷淋实现对气体中杂质的去除，导致操作工序繁多，设备成本较高，操作繁琐，回收效率低下，且多个操作工序过程中容易造成气体的泄露，影响气体的回收效果，为此，我们提出一种电子气体尾气智能回收装置及方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子气体尾气智能回收装置及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种电子气体尾气智能回收装置，包括基板和操控台，所述基板顶部的一端设置有操控台，还包括：第一处理机构、检测机构、第二处理机构、第三处理机构、气体除潮机构和电子气体收集罐，所述基板顶部的另一端设置有第一处理机构，所述基板顶部位于操控台的一侧分别设置有第二处理机构和第三处理机构，所述基板顶部位于操控台的另一侧设置有气体除潮机构，且基板顶部位于第一处理机构的侧边安装有电子气体收集罐；

所述第一处理机构包括第一处理箱、杂质收集盒、电子气体进口、过滤网、过滤腔、水洗腔、第一通气管、连通管、第一出气口、第一填料层、第一定位板和固定板，所述第一处理箱固定安装在基板顶部，且第一处理箱内部的低端设置有过滤腔，所述过滤腔内部的顶端安装有过滤网，所述第一处理箱的低端设置有杂质收集盒，且杂质收集盒滑动设置在过滤腔内，所述杂质收集盒与过滤腔之间密封连接，所述过滤腔的顶端设置有电子气体进口，且电子气体进口位于过滤网和杂质收集盒之间的区域；

所述第一处理箱内位于过滤腔的上设置有水洗腔，且水洗腔与过滤腔之间通过密封隔板连接，所述过滤腔内设置有连通管，且连通管的端部伸入水洗腔内部的低端，所述连通管位于水洗腔内部低端的一端安装有第一通气管，且第一通气管整体成U形结构，所述第一通气管外侧等距设置有第一出气口。

优选的，所述水洗腔内部分别设置有两个第一填料层，且水洗腔内位于第一填料层的底部及底部均固定安装有第一定位板，所述第一定位板的表面等距开设有竖直方向的透气孔，所述第一处理箱的侧壁位于第一填料层的端部均开设有连通槽，且连通槽内连接有固定板，所述第一填料层及第一定位板的端部均与固定板连接，所述固定板及第一处理箱的两端均一体设置有凸板，且固定板及第一处理箱上的凸板之间通过固定螺丝固定连接，所述固定板和第一处理箱上的凸板之间设置有密封垫，所述第一出气口朝向第一填料层设置。