[发明专利]电热微镜驱动器失配矫正系统及方法

说明书

本公开提供了一种电热微镜驱动器失配矫正系统，包括：光源，光源用于向设置在光源正上方的电热微镜发出光线，电热微镜对来自光源的光线进行反射，形成反射光线；多个光电探测器均匀地设置在光源的周围，多个光电探测器分别对电热微镜形成的反射光线进行探测，生成多个电流信号；矫正电路同时接收多个电流信号，将多个电流信号转换为多个电压信号，获取多个电压信号中的最大值与最小值的差值，至少基于差值生成矫正电信号，矫正电信号能够被发送至电热微镜的至少一个驱动器，以对至少一个驱动器的驱动电压进行矫正。本公开还提供了一种电热微镜驱动器失配矫正方法。

技术领域

本公开属于电热微镜驱动控制技术领域，本公开尤其涉及一种电热微镜驱动器失配矫正系统及电热微镜驱动器失配矫正方法。

背景技术

电热微镜是依靠物体的热膨胀效应驱动微镜产生偏转。

当温度发生改变时，物体的长度和体积也会产生变化，从而输出力或位移使微镜结构产生变形。

扫描微镜(SEM)多用于各种显示、光通信、目标识别等光学系统，要求微镜有大的垂直位移与扫描角度。

如果在微镜垂直扫描运动过程中出现扫描倾角，会直接导致光路失准，干涉调制度降低，干涉条纹对比度降低，限制动镜最大扫描位移的利用率，造成系统分辨力下降，若倾角过大，导致动镜光斑与定镜光斑相互分离，探测器端的干涉信号消失。

微镜在垂直扫描过程中应避免驱动器响应失配。

发明内容

为了解决上述技术问题之一，本公开提供了一种电热微镜驱动器失配矫正系统及电热微镜驱动器失配矫正方法。

本公开的电热微镜驱动器失配矫正系统及电热微镜驱动器失配矫正方法通过以下技术方案实现。

根据本公开的一个方面，提供一种电热微镜驱动器失配矫正系统，包括：光源，所述光源用于向设置在所述光源正上方的电热微镜发出光线，所述电热微镜对来自光源的所述光线进行反射，形成反射光线；光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个光电探测器，多个所述光电探测器均匀地设置在所述光源的周围，所述多个光电探测器分别对所述电热微镜形成的所述反射光线进行探测，生成多个电流信号；以及矫正电路，所述矫正电路同时接收所述多个电流信号，将所述多个电流信号转换为多个电压信号，所述矫正电路获取所述多个电压信号中的最大值与最小值的差值，所述矫正电路至少基于所述差值生成矫正电信号，所述矫正电信号能够被发送至所述电热微镜的至少一个驱动器，以对所述至少一个驱动器的驱动电压进行矫正。

根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述光源能够被控制以发出光线或者不发出光线。

根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述光电探测器阵列包括四个光电探测器，分别为第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器以及第四光电探测器。

根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述四个光电探测器与所述光源设置在同一基底上。

根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述矫正电路通过所述基底上设置的电通道与所述多个光电探测器中的各个光电探测器电连接。

根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述基底为电路板。

根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述光电探测器为矩形形状。

根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述光电探测器为正方形形状。

根据本公开的至少一个实施方式的电热微镜驱动器失配矫正系统，所述矫正电路包括：

信号采集部，所述信号采集部将所述多个电流信号转换为多个电压信号；