[发明专利]具有偏移校准的稳压器在审

专利信息
申请号: 202110180576.0 申请日: 2021-02-09
公开(公告)号: CN113296570A 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: M·卡努恩 申请(专利权)人: 半导体组件工业公司
主分类号: G05F1/567 分类号: G05F1/567
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 彭晓文
地址: 美国亚*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 偏移 校准 稳压器
【权利要求书】:

1.一种用于测量工作电极电流的方法,所述方法包括:

使用耦接到工作电极的稳压器来生成第一输出电流,所述第一输出电流包括工作电极电流分量和偏移电流分量;

将所述第一输出电流转换为第一数字字;

使用存储器中存储的校准因子来修改所述第一数字字以获得所述工作电极电流的测量结果;

检测校准事件;以及

通过以下方式执行校准:

针对校准来重新配置所述稳压器;

使用所重新配置的稳压器来生成第二输出电流,所述第二输出电流是所述偏移电流的测量结果;

将所述第二输出电流转换为第二数字字;以及

根据所述第二数字字进行对所述存储器中存储的所述校准因子的创建或更新中的至少一者。

2.根据权利要求1所述的用于测量工作电极电流的方法,其中:

使用双斜率模数转换器来执行将所述第一输出电流转换成第一数字字以及将所述第二输出电流转换成第二数字字;

所述第一数字字对应于使用所述工作电极电流分量和所述偏移电流分量对所述双斜率模数转换器的电容器充电所花费的时钟循环的第一数量;并且

所述第二数字字对应于使用所述偏移电流分量对所述双斜率模数转换器的电容器充电所花费的时钟循环的第二数量。

3.根据权利要求2所述的用于测量工作电极电流的方法,其中使用存储器中存储的校准因子来修改所述第一数字字以获得所述工作电极电流的测量结果包括:

从所述时钟循环的第一数量减去所述时钟循环的第二数量以获得使用所述工作电极电流分量对所述双斜率模数转换器的电容器充电所花费的时钟循环的第三数量。

4.根据权利要求1所述的用于测量工作电极电流的方法,其中所述校准事件对应于(i)所述稳压器的工作条件的改变;(ii)计划;或(iii)用户输入。

5.根据权利要求1所述的用于测量工作电极电流的方法,其中执行所述校准包括:

在执行所述校准的同时,保持所述工作电极处的工作电极电压和工作电极电流。

6.一种能够配置为正常配置或校准配置的双向稳压器,所述双向稳压器包括:

前端部,所述前端部包括耦接到工作电极的第一反馈放大器以及不耦接到所述工作电极的副本反馈放大器,其中:

在所述正常配置中,所述第一反馈放大器耦接到感测和数字化部,并且所述副本反馈放大器与所述感测和数字化部解耦;并且

在所述校准配置中,所述第一反馈放大器与所述感测和数字化部解耦,并且所述副本反馈放大器耦接到所述感测和数字化部。

7.根据权利要求6所述的双向稳压器,所述双向稳压器还包括:

偏移部,所述偏移部包括偏移电流源和副本偏移电流源,其中:

在所述正常配置中:

所述偏移电流源耦接到所述工作电极和所述第一反馈放大器,

所述副本偏移电流源耦接到所述副本反馈放大器,

所述工作电极处的工作电极电压和工作电极电流由所述第一反馈放大器和所述偏移电流源保持,并且

所述感测和数字化部被配置为接收包括工作电极电流分量和偏移电流分量的第一输出电流,并且使用校准因子来从所述第一输出电流中移除所述偏移电流分量以便生成所述工作电极电流的测量结果;并且

在所述校准配置中:

所述偏移电流源耦接到所述副本反馈放大器,

所述副本偏移电流源耦接到所述工作电极和所述第一反馈放大器,

所述工作电极处的所述工作电极电压和所述工作电极电流由所述第一反馈放大器和所述偏移电流源保持,并且

所述感测和数字化部被配置为接收包括所述偏移电流分量的第二输出电流,并且创建/更新对应于所述偏移电流分量的校准因子。

8.根据权利要求6所述的双向稳压器,所述双向稳压器还包括:

电流输送部,所述电流输送部耦接在所述前端部与所述感测和数字化部之间,所述电流输送部包括第一电流镜和第二电流镜。

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