[发明专利]隔离器有效
| 申请号： | 202110176404.6 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN114171868B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 石黑阳 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
| 主分类号： | H01P1/36 | 分类号： | H01P1/36;H01P11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘英华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隔离器 | ||
1.一种隔离器，具备：
第一绝缘部；
第一电极，设置于所述第一绝缘部中；
第二绝缘部，设置于所述第一绝缘部之上及所述第一电极之上；
第三绝缘部，设置于所述第二绝缘部上；以及
第二电极，设置于所述第三绝缘部中，
所述第二绝缘部包含：在第一方向上排列的多个第一空隙；及设置于所述多个第一空隙的上方的第二空隙，所述第一方向平行于所述第一绝缘部与所述第二绝缘部的界面，
所述多个第一空隙在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸，
所述第二空隙在所述第一方向上延伸。
2.根据权利要求1所述的隔离器，其中，
所述第二空隙设置为，与所述多个第一空隙中的至少一个空隙连通。
3.根据权利要求1或2所述的隔离器，其中，
还具备第一绝缘膜，
所述第一绝缘膜设置于所述第二电极与所述第二绝缘部之间，且包含与所述第二绝缘部的材料不同的材料。
4.根据权利要求1或2所述的隔离器，其中，
所述第二绝缘部包含第二绝缘膜，所述第二绝缘膜在所述第一电极与所述多个第一空隙之间连续地设置。
5.一种隔离器，具备：
第一绝缘部；
第一电极，设置于所述第一绝缘部中；
第二绝缘部，设置于所述第一绝缘部之上及所述第一电极之上；
第三绝缘部，设置于所述第二绝缘部上；以及
第二电极，设置于所述第三绝缘部中，
所述第二绝缘部包含：在第一方向上排列的多个第一空隙；及设置于所述多个第一空隙的上方的第二空隙，所述第一方向平行于所述第一绝缘部与所述第二绝缘部的界面，
所述第二绝缘部包含：在所述第一绝缘部与所述第三绝缘部之间延伸的第三绝缘膜；及在第一绝缘膜与所述第三绝缘部之间延伸的第四绝缘膜，所述第一绝缘膜设置于所述第二电极与所述第二绝缘部之间，且包含与所述第二绝缘部的材料不同的材料，
所述第三绝缘膜包含：在所述第一方向上排列的所述多个第一空隙，
所述第四绝缘膜包含：被所述第二空隙包围的多个岛状区域。
6.根据权利要求5所述的隔离器，其中，
所述第二空隙设置为，与所述多个第一空隙中的至少一个空隙连通。
7.一种隔离器，具备：
第一绝缘部；
第一电极，设置于所述第一绝缘部中；
第二绝缘部，设置于所述第一绝缘部之上及所述第一电极之上；
第三绝缘部，设置于所述第二绝缘部上；以及
第二电极，设置于所述第三绝缘部中，
所述第二绝缘部包含：在第一方向上排列的多个第一空隙；及设置于所述多个第一空隙的上方的第二空隙，所述第一方向平行于所述第一绝缘部与所述第二绝缘部的界面，
所述第二绝缘部还包含第三空隙，所述第三空隙在从所述第一绝缘部朝向所述第三绝缘部的第三方向上设置于所述第一空隙的层级与所述第二空隙的层级之间的层级，
所述第一空隙至所述第三空隙分别具有四边形的形状，
所述第三空隙设置为，在所述四边形的四角与所述第一空隙及所述第二空隙连通。
8.根据权利要求7所述的隔离器，其中，
所述第二空隙设置为，与所述多个第一空隙中的至少一个空隙连通。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社，未经株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
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