[发明专利]一种用于CD测量机的线宽测量误差补偿方法有效
| 申请号： | 202110161950.2 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112964179B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 汪春杨 | 申请（专利权）人： | 合肥清溢光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 夏舜 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cd 测量 测量误差 补偿 方法 | ||
1.一种用于CD测量机的线宽测量误差补偿方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1、控制检测点位置不变，同时不断改变光源高度，得到光源高度与待测线宽之间的关系；
S2、建立模型对光源高度与待测线宽之间的关系进行拟合，得到拟合结果；
S3、利用电荷耦合器件对待检点的对焦焦距，得到光源与待检点之间的实际高度；
S4、将光源与待检点之间的实际高度输入拟合结果中，得到待检点处补偿后的线宽测量结果。
2.根据权利要求1所述的用于CD测量机的线宽测量误差补偿方法，其特征在于：S1中控制检测点位置不变，同时不断改变光源高度，包括：
控制测量同一块玻璃中同一个位置为不变量，同时不断改变光源高度。
3.根据权利要求2所述的用于CD测量机的线宽测量误差补偿方法，其特征在于：所述光源高度改变10次，记录10组光源高度与待测线宽之间的数据。
4.根据权利要求2所述的用于CD测量机的线宽测量误差补偿方法，其特征在于：S2中建立模型对光源高度与待测线宽之间的关系进行拟合，得到拟合结果，包括：
构建线性拟合模型，对光源高度与待测线宽之间的关系进行拟合。
5.根据权利要求4所述的用于CD测量机的线宽测量误差补偿方法，其特征在于：S3中利用电荷耦合器件对待检点的对焦焦距，得到光源与待检点之间的实际高度，包括：
利用CCD摄像机对待检点的对焦焦距，计算得到CCD摄像机与待检点之间的距离，再根据光源与CCD摄像机之间的距离，得到光源距离待检点的实际高度。
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