[发明专利]一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用

权利要求书

1.一种氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，所述氧化钒缓蚀含氟剥离液的原料包括下列质量分数的组分：0.05％-15％的氟化物、18％-40％的烷醇胺、0.5％-5％的缓蚀剂、0.5％-5％的络合剂、10％-20％的直链酰胺类有机溶剂、5％-15％的砜类和/或亚砜有机溶剂、5％-10％的醇醚类有机溶剂、5％-10％的烷酮类有机溶剂、0.05％-1.5％的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物和余量的水，各组分质量分数之和为100％，所述的PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为Tetronic 901、Tetronic 904和Tetronic 908中的一种或多种。

2.如权利要求1所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，

所述氟化物的质量分数为2.0％-10.00％；

和/或，所述络合剂的质量分数为0.80％-4.5％；

和/或，所述烷醇胺的质量分数为18.0％-35.0；

和/或，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为0.56％-1.5％。

3.如权利要求2所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，

所述氟化物的质量分数为2.0％-6.0％；

和/或，所述络合剂的质量分数为1.10％-3.6％；

和/或，所述烷醇胺的质量分数为20.0％-29.0％；

和/或，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为0.73％-1.2％。

4.如权利要求3所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，

所述氟化物的质量分数为5.3％；

和/或，所述络合剂的质量分数为1.50％；

和/或，所述烷醇胺的质量分数为25.4％；

和/或，所述PO-EO-乙烯基二元胺共聚物为1.2％。

5.如权利要求1所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，

所述缓蚀剂的质量分数为1.2％-4.3％；

和/或，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数为13％-18％；

和/或，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数为6.70％-15％；

和/或，所述醇醚类有机溶剂的质量分数为6.70％-9.6％；

和/或，所述烷酮类有机溶剂的质量分数为6.70％-10％。

6.如权利要求5所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，

所述缓蚀剂的质量分数为1.8％-3.5％；

和/或，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数为15％-18％；

和/或，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数为7.50％-12.4％；

和/或，所述醇醚类有机溶剂的质量分数为7.50％-8.2％；

和/或，所述烷酮类有机溶剂的质量分数为7.50％-9.1％。

7.如权利要求6所述的氧化钒缓蚀含氟剥离液，其特征在于，

所述缓蚀剂的质量分数为2.2％；

和/或，所述直链酰胺类有机溶剂的质量分数为17.8％；

和/或，所述砜类和/或亚砜有机溶剂的质量分数为12.4％；

和/或，所述醇醚类有机溶剂的质量分数为7.8％；

和/或，所述烷酮类有机溶剂的质量分数为9.1％。