[发明专利]输送装置和制造物品的方法

说明书

本公开涉及一种输送装置，其包括定子和动子，所述定子包括沿着第一方向布置的多个线圈。所述动子沿着所述多个线圈移动，并且包括第一磁体组和第二磁体组，所述第一磁体组包括沿着所述第一方向布置以面向所述多个线圈的多个第一磁体，所述第二磁体组包括沿着与所述第一方向交叉的第二方向布置以面向所述多个线圈的多个第二磁体。所述多个线圈中的至少一个包括磁芯、围绕所述磁芯卷绕的绕组部分、以及磁轭。所述磁轭与所述绕组部分的沿着所述第一方向的部分的外周邻接并且在所述第一方向上延伸。本公开还涉及一种制造物品的方法。

技术领域

本公开涉及输送装置。

背景技术

通常，输送装置用于组装工业产品所用的生产线以及半导体曝光装置中。具体地，生产线中的输送装置在生产线中的多个工位之间或者在自动化工厂中的生产线之间输送诸如零件这样的工件。此外，输送装置也用于加工装置中。已经提供了具有可移动磁体型线性马达的输送装置。

具有可移动磁体型线性马达的输送装置使用涉及机械接触的引导装置(例如线性引导件)。此外，关于线性马达的配置，通常在输送方向上布置一列磁体，并且一列线圈布置成面向这一列磁体，并且使用其中的一列作为动子且使用其中的另一列作为定子来执行单轴驱动。正如日本专利申请特开第7-318699号中所讨论的那样，通过垂直地布置两组磁体和线圈来实现在输送方向和垂直于输送方向的方向上的双轴驱动。

此外，日本专利第5240563号讨论了一种输送装置，所述输送装置使用单个磁体列和两种类型的线圈列在多个轴线方向上执行输送。日本专利第5240563号中讨论的输送装置包括作为动子的围绕三相线圈的单相线圈和分别布置在动子的移动路径的两侧以由此实现双轴驱动的磁体列。

然而，常规技术使用两种类型的线圈来执行双轴驱动，并且使用两列磁体来夹持线圈。因此，输送装置具有大的配置，并且这会增加成本。

发明内容

根据本公开的一方面，一种输送装置包括：定子，所述定子包括沿着第一方向布置的多个线圈；以及动子，所述动子配置成沿着所述多个线圈移动，其中所述动子包括第一磁体组和第二磁体组，所述第一磁体组包括沿着所述第一方向布置以面向所述多个线圈的多个第一磁体，所述第二磁体组包括沿着与所述第一方向交叉的第二方向布置以面向所述多个线圈的多个第二磁体，其中所述多个线圈中的至少一个包括磁芯、围绕所述磁芯卷绕的绕组部分、以及磁轭，并且其中所述磁轭与所述绕组部分的沿着所述第一方向的部分的外周邻接且在所述第一方向上延伸。

通过参考附图对示例性实施例的以下描述，本公开的更多特征将变得显而易见。

附图说明

图1A和图1B分别是示出本公开的第一示例性实施例的侧视图和俯视图。

图2A和图2B分别是沿着图1B中的线(A)-(A)截取的横截面图和沿着图1B中的线(B)-(B)截取的横截面图。

图3是示出图1A中的定子部分的横截面图。

图4A和图4B是分别示出普通线圈和根据本公开的第一示例性实施例的线圈的横截面图。

图5A和图5B是示出根据本公开的第一示例性实施例的线圈的磁路的概念图。

图6是示出根据本公开的第一示例性实施例的在Y方向上施加力的方法的概念图。

图7是示出根据本公开的第一示例性实施例的系统配置的示意图。

图8是示出根据本公开的第一示例性实施例的取向控制方法的示意图。

图9是示出根据本公开的第一示例性实施例的通过使用动子位置计算函数进行的处理的示意图。

图10是示出根据本公开的第一示例性实施例的通过使用动子取向计算函数进行的处理的示意图。