[发明专利]电子级三氟化氯的充装装置及其充装方法

权利要求书

1.一种电子级三氟化氯的充装装置，其特征在于，包括：

罐装单元（12），包括充装罐（120），以及用于检测所述充装罐（120）重量的电子秤（121）以及用于给所述充装罐（120）降温的降温组件，所述降温组件的温度范围为-30℃~-50℃，从而为所述三氟化氯的收集提供冷源，使之快速的降温液化形成负压；

充装检测单元（10），分别与所述充装罐（120）连接的三氟化氯供应管路（101）、氟气供应管路（102）、氮气供应管路（103）以及排空检测管路（104），设置于各个管路中的过滤器（105）以及自动阀门（106）；

防护单元（11），包括用于容置所述充装检测单元（10）的内防护层（110）、外防护层（111）、冷凝组件（114）、惰性气体入口（112）、惰性气体出口（113），所述内防护层（110）以及所述外防护层（111）之间形成容置惰性气体的保护腔，所述冷凝组件（114）设置于所述保护腔中，所述惰性气体入口（112）以及所述惰性气体出口（113）分别与所述保护腔联通。

2.如权利要求1所述的电子级三氟化氯的充装装置，其特征在于，所述自动阀门（106）采用电动或气动隔膜阀。

3.如权利要求1所述的电子级三氟化氯的充装装置，其特征在于，所述防护单元（11）进一步包括泄露检测报警器以及喷淋器（115），设置于所述内防护层（110）内，用于检测是否泄漏，并进行喷淋。

4.如权利要求1所述的电子级三氟化氯的充装装置，其特征在于，所述充装检测单元（10）进一步包括高纯三氟化氯中杂质定量、定性组件，与所述排空检测管路（104）连接；

其中，杂质定量、定性组件包括：

切换单元（20），包括进气管道（201）、出气管道（202）、六通阀（203）、第一四通阀（204）以及第二四通阀（205），所述六通阀（203）包括顺序设置的a、b、c、d、e、f阀门，所述第一四通阀（204）包括顺序设置的g、h、i、j阀门，所述第二四通阀（205）包括顺序设置的k、l、m、n阀门；所述进气管道（201）与所述出气管道（202）分别连接a、b阀门；

定量杯（22），其两端分别连接所述c、f阀门；

载气单元（21），分别连接e、i、m阀门；

分离单元（23），包括两端分别连接d、g阀门的氟醚油柱（230）、两端分别连接j、k阀门的第一分子筛（231）、与l阀门连接的第二分子筛（232）；

分析单元（24），包括与h阀门连接的第一气相色谱热导检测器（240）、连接于所述第一分子筛（231）与k阀门之间的第二气相色谱热导检测器（241）、连接于所述第二分子筛（232）的氦离子检测器（242）。

5.如权利要求1所述的电子级三氟化氯的充装装置，其特征在于，定义所述充装罐（120）的体积为ML，其中，所述三氟化氯的最大存储量为1.42Mkg，当电子秤（121）获取所述充装罐（120） 达到最大存储量时，控制对应管路的自动阀门（106）关闭。

6.一种如权利要求1所述电子级三氟化氯的充装装置的充装方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，通过所述充装检测单元（10）对所述充装罐（120）进行钝化处理；

S2，将所述充装罐（120）降温到-30℃~-50℃，使所述三氟化氯供应管路（101）对所述充装罐（120）进行充装，当达到最大充装量时，结束充气；

S3，通过所述排空检测管路（104）检测充装的气体是否合格，是，则结束充装，允许使用。