[发明专利]工件保持夹具和表面处理装置

说明书

提供工件保持夹具和表面处理装置。对工件通电而对工件的两面进行处理，包括：固定夹紧片，其以电绝缘方式固定于导电部件；可动夹紧片，其相对于所述固定夹紧片摆动自如；以及板簧，其维持被所述固定夹紧片和所述可动夹紧片夹持的所述工件的夹持状态，所述板簧包括：第1固定部，其与所述可动夹紧片电导通而被固定；第2固定部，其与所述导电部件电导通而被固定；第3固定部，其与所述固定夹紧片电导通而被固定；一对臂部，它们将所述第1固定部与所述第2固定部连结，所述第2固定部在所述板簧的长度方向上位于所述第1固定部与所述第3固定部之间，所述一对臂部的俯视时配置于所述固定夹紧片和所述可动夹紧片的两侧的一部分包括U字状的弯曲部。

本申请是申请日为：2017年9月27日、申请号为：201780060162.6(PCT/JP2017/034923)、发明名称为“工件保持夹具和表面处理装置”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及在连续电镀装置等表面处理装置中使用的工件保持夹具和表面处理装置等。

背景技术

在连续电镀装置等表面处理装置中，使用工件保持夹具下垂保持工件，并在表面处理槽内的液体中连续搬送工件。例如专利文献1所示那样，通常情况下工件保持夹具夹紧工件的上端而下垂保持工件。

另外，工件保持夹具的其他功能在于，相对于配置在表面处理槽内的阳极(阳极)，将工件设定为阴极(阴极)。在阴极-阳极之间形成电场，对电镀液进行电解而对工件表面进行电镀。因此，夹紧工件上端的夹紧部件由导电性部件形成，通过工件保持夹具将工件设定为阴极。

但是，仅凭在工件的上端确保通电路径，在确保工件的表面处理的面内均匀性方面存在局限。因此，本申请的申请人开发出了通过夹紧工件的上端和下端的夹紧部件从工件的上下方向供电的工件保持夹具(专利文献2)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-132956号公报

专利文献2：日本特许第5898540号公报

发明内容

发明所要解决的课题

根据专利文献2所公开的技术，能够提高工件的电流分布的面内均匀性，然而例如要求进一步减小向工件的上下端部通电的通电路径的电阻差，或者同时减小向工件的正反面通电的通电路径的电阻差来进一步提高面内均匀性。

本发明的若干方式的目的在于，提供进一步减小向工件的上下端部或正反面通电的通电路径的电阻差，从而能够进一步提高工件的电流分布的面内均匀性的工件保持夹具和表面处理装置。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及工件保持夹具，其将矩形的工件在处理槽内的处理液中保持为垂直状态，并且将所述工件设定为阴极，该工件保持夹具的特征在于，具有：

导电性的框状部件，其包括具有上框部件和下框部件的横框部件以及与所述下框部件电连接的一对纵框部件，该框状部件包围所述工件而配置；

导电性的多个第1夹紧部件，它们被所述上框部件支承，把持所述工件的上边；

导电性的多个第2夹紧部件，它们被所述下框部件支承，把持所述工件的下边；

共用供电部；

第1通电部，其从所述共用供电部对所述上框部件通电；以及

第2通电部，其从所述共用供电部对所述一对纵框部件通电，并且其电阻值小于所述第1通电部的电阻值，

所述第1通电部包括：

一对第1导电部件，它们与所述上框部件的两端部电连接而被固定，隔着绝缘部件分别上下移动自如地引导所述一对纵框部件；以及