[发明专利]光掩模盒及于一光掩模盒内固持一光掩模的方法

说明书

本发明提出一种光掩模盒及于一光掩模盒内固持一光掩模的方法，具有一盒盖及提供于该盒盖的一或多个销组件，该销组件包含：一可动部，配置成能相对于该盒盖的一顶部垂直地移动；及一弹性部，配置成使该可动部介于该弹性部和该盒盖的顶部之间。当该光掩模盒未容置一光掩模时，该盒盖的顶部决定该可动部位于一第一水平，且当该光掩模盒容置该光掩模时，该弹性部配合该可动部使该可动部固持该光掩模而位于一第二水平，该第二水平高于该第一水平。

技术领域

本发明是关于一种光掩模盒，尤其是关于一种提供有保持销组件的光掩模盒，且保持销可与一光掩模外盒互动。

背景技术

目前极紫外光(EUV)制程中，所涉及的光掩模需以专用的EUV光掩模内盒(innerpod)保护。光掩模内盒的盒盖与基座结合时，为了保持光掩模位置，让光掩模无法在光掩模内盒中位移，已知手段利用EUV光掩模外盒(outer pod)收容光掩模内盒时经由外加的力将内盒中的光掩模夹持固定，并经由适当的机构安排以吸收过多的夹持力。因此，光掩模内盒的保持销组件即扮演重要的角色。

如中国台湾专利公开第201931007号提出一种于光掩模盒内盒的盒盖配置保持销组件，其可受到外盒盒盖的一下压平面接触压迫而垂直向下移动，进而以销压制光掩模。在下压平面压制的情况中，保持销组件略凸出保持销组件盖达一距离。在下压平面压制的情况中，保持销的受压部与保持销组件盖的顶面平行。此处的保持销组件是一体成型的构件，且是以和外盒盒盖直接接触的方式提供压制力道。

然而，应了解光掩模盒的各构件仍会因无法避免的制造因素(如表面挠曲)而产生公差。以上述公开的光掩模盒为例，公差可能存在于光掩模盒的盒盖厚度、基座厚度、保持销的长度、保持销受压面平整度、光掩模支撑柱的高度以及保持销组件盖的高度等。这些公差的累积可能会导致不理想的光掩模固持(如无法以四个保持销确实固持光掩模)，甚至影响光掩模盒密封效果。问题可能会在于当光掩模被容置于光掩模盒中时将保持销顶升，但由于保持销和保持销组件盖等部件的公差累积导致被顶升的保持销冲撞上方的盖结构，从而一并将盒盖抬升，使盒盖与基座之间形成影响密封性的间隙。

有鉴于光掩模的精密性，有必要发展可弥补所述构件公差的保持销设计以满足光掩模的容置要求及光掩模盒密封性。

发明内容

本发明目的在于提供一种光掩模盒，其具有一盒盖及提供于该盒盖的一或多个销组件。该销组件包含：一可动部，配置成能相对于该盒盖的一顶部垂直地移动；及一弹性部，配置成使该可动部介于该弹性部和该盒盖的顶部之间。当该光掩模盒未容置一光掩模时，该盒盖的顶部决定该可动部位于一第一水平，且当该光掩模盒容置该光掩模时，该弹性部配合该可动部使该可动部固持该光掩模而位于一第二水平，该第二水平高于该第一水平。

本发明另一目的在于提供一种光掩模盒，其具有一盒盖及提供于该盒盖的一或多个销组件。该销组件包含：一可动部，配置成能相对于该盒盖的一顶部垂直地移动，包含一帽部和一销，该销穿设于该盒盖的一孔内且凸伸出该盒盖的一下表面；及一盖部，设置于该盒盖的一外侧，以限制该可动部的该帽部能抵达的一最高水平。当该光掩模盒容置一光掩模时，该销抵持于该光掩模的一上表面，且当该帽部直接地或间接地受一外力时，该帽部作用于该销，促使该销固持该光掩模。

本发明再一目的在于提供一种于一光掩模盒内固持一光掩模的方法，该光掩模盒包含一盒盖及一基座，其中该盒盖提供有一或多个销组件，该销组件包含：一销与一帽部。该方法包含：配置该销能相对于该盒盖的一孔垂直地移动且凸伸出该盒盖的一下表面；配置一盖部于该盒盖的一外侧，以限制该帽部能抵达的一最高水平；将一光掩模容置于该光掩模盒中，使该销抵持于该光掩模的一上表面而向上移动；使该帽部直接地或间接地接受一外力，促使该帽部作用于该销，使该销固持该光掩模，以稳固该光掩模在该光掩模盒中。

附图说明