[发明专利]光掩模盒及于一光掩模盒内固持一光掩模的方法

权利要求书

1.一种光掩模盒，其特征在于，该光掩模盒具有一盒盖及提供于该盒盖的一或多个销组件，该销组件包含：

一可动部，配置成能相对于该盒盖的一顶部垂直地移动；及

一弹性部，配置成使该可动部介于该弹性部和该盒盖的顶部之间，

当该光掩模盒未容置一光掩模时，该盒盖的顶部决定该可动部位于一第一水平，且当该光掩模盒容置该光掩模时，该弹性部配合该可动部使该可动部固持该光掩模而位于一第二水平，该第二水平高于该第一水平。

2.如权利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，当该光掩模盒未容置该光掩模时，该弹性部与位于该第一水平的该可动部之间具有一间隙。

3.如权利要求2所述的光掩模盒，其特征在于，该间隙为该第二水平与该第一水平的差距。

4.如权利要求2所述的光掩模盒，其特征在于，当该光掩模盒容置该光掩模时，该弹性部直接地或间接地受一外力，使该弹性部作用于该可动部，促使该可动部固持该光掩模。

5.如权利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，该可动部具有一帽部和一销，该帽部被限制于该弹性部和该盒盖的顶部之间，该销自该帽部延伸至该光掩模盒的一内侧。

6.如权利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，该盒盖具有一或多个盖部，该盖部连接于该盒盖上以封盖住连接于该盒盖的弹性部。

7.如权利要求6所述的光掩模盒，其特征在于，该弹性部具有一套筒和一对固定翼，该对固定翼用于连接该盒盖的顶部，该套筒与该盒盖的顶部定义一容置空间用于容置该可动部的一部份。

8.如权利要求7所述的光掩模盒，其特征在于，该套筒具有面向该盖部的一顶部，该套筒的顶部放置有一第一磁铁。

9.如权利要求8所述的光掩模盒，其特征在于，该光掩模盒还包含一光掩模外盒，该光掩模外盒具有一盒盖，且该光掩模外盒的盒盖具有对应销组件的一或多个压制部，该压制部提供有一第二磁铁，该第一磁铁与该第二磁铁配置成，使该压制部向对应的销组件提供一非接触压制而迫使可动部向光掩模盒的内侧移动。

10.如权利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，该盒盖具有一或多个盖部，该盖部连接于该盒盖上以部分地暴露连接于该盒盖的弹性部。

11.如权利要求10所述的光掩模盒，其特征在于，该弹性部具有一套筒和一对固定翼，该对固定翼用于连接该盒盖的顶部，该套筒与该盒盖的顶部定义一容置空间用于容置该可动部的一部份，该套筒的一顶部暴露于该盖部的一孔。

12.如权利要求11所述的光掩模盒，其特征在于，该套筒的顶部自该盖部的一顶面突出。

13.如权利要求11所述的光掩模盒，其特征在于，该光掩模盒还包含一光掩模外盒，该光掩模外盒具有一盒盖，且该光掩模外盒的盒盖具有对应销组件的一或多个压制部，使该压制部向对应的销组件的套筒的暴露顶部提供一接触压制而迫使可动部向光掩模内盒的内侧移动。

14.一种光掩模盒，其特征在于，该光掩模盒具有一盒盖及提供于该盒盖的一或多个销组件，该销组件包含：

一可动部，配置成能相对于该盒盖的一顶部垂直地移动，该可动部包含一帽部和一销，该销穿设于该盒盖的一孔内且凸伸出该盒盖的一下表面；及

一盖部，设置于该盒盖的一外侧，以限制该可动部的该帽部能抵达的一最高水平，

当该光掩模盒容置一光掩模时，该销抵持于该光掩模的一上表面，且当该帽部直接地或间接地受一外力时，该帽部作用于该销，促使该销固持该光掩模。

15.如权利要求14所述的光掩模盒，其特征在于，该销组件还包含：一弹性部，设置于该可动部与该盒盖的顶部之间，以密封该盒盖的该孔。