[发明专利]荧光X射线分析装置

权利要求书

1.一种荧光X射线分析装置，向试样的表面照射X射线并检测从所述表面产生的荧光X射线，由此对所述试样进行分析，所述荧光X射线分析装置具备：

测定室，在该测定室中进行所述X射线的照射以及所述荧光X射线的检测；

排气装置，其构成为排出所述测定室内的气氛气体；

控制装置，其构成为按照由使用者设定的分析条件来进行所述试样的分析；以及

探测装置，其构成为探测所述试样是否为液体，

其中，所述分析条件包括用于规定所述测定室内的气氛气体的状态的气氛条件，

所述控制装置构成为：在由所述探测装置探测出所述试样是液体的情况下，在所述气氛条件被设定为了真空气氛时，禁止或停止所述排气装置的动作。

2.根据权利要求1所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，还具备：

试样托盘，其设置在所述测定室的外部，构成为用于载置多个样品池，各样品池内部包含试样；以及

搬送装置，其构成为将被载置在所述试样托盘上的样品池分别单独地向所述测定室内搬送，

所述分析条件是针对所述试样托盘上的每个样品池设定的，

所述控制装置构成为：对通过所述搬送装置搬送到所述测定室内的每个样品池按照所设定的分析条件进行所述试样的分析。

3.根据权利要求2所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

在所述多个样品池的各样品池的上盖设置有通气孔，

在内部包含液体试样的样品池的上盖安装有构成为堵塞所述通气孔的构件，

所述探测装置构成为探测有无所述构件，

所述控制装置构成为：在作为分析对象的样品池即对象池被所述探测装置探测到所述构件且所述对象池的气氛条件被设定为真空气氛的情况下，禁止或停止所述排气装置的动作。

4.根据权利要求3所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述搬送装置包括把持部，所述把持部构成为在进行所述对象池的搬送时把持所述对象池，

所述探测装置包括反射型的光遮断器或摄像机，所述探测装置设置于所述搬送装置的把持部。

5.根据权利要求3所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述探测装置包括反射型的光遮断器或摄像机，所述探测装置在所述测定室内设置在用于载置所述对象池的试样台的上方。

6.根据权利要求2所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述探测装置构成为：通过在对所述样品池施加了加速度的情况下探测所述样品池内的试样的摇晃，来探测所述样品池内的试样是否为液体。

7.根据权利要求6所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述探测装置包括加速度传感器，所述探测装置设置于所述搬送装置。

8.根据权利要求7所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

还具备施振装置，所述施振装置设置于所述搬送装置，构成为对所述样品池施加振动。

9.根据权利要求6所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

还具备施振装置，所述施振装置构成为对所述样品池施加振动，

所述探测装置包括：

光源，其向所述样品池内的试样照射可见光；以及

光检测装置，其构成为在从所述光源照射了可见光时，探测透过了所述样品池内的试样的透过光或者从所述样品池内的试样反射的反射光。

10.根据权利要求9所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述施振装置是使被载置在所述测定室内的对象池旋转的旋转台。

11.根据权利要求9所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述施振装置构成为对所述试样托盘施加振动。