[发明专利]一种多反射干涉仪及多反射干涉分光方法

说明书

本发明提供了一种多反射干涉仪及多反射干涉分光方法，属于光谱技术领域，该多反射干涉仪用于设置在多反射干涉自动测量系统中，具有这样的特征，包括：分束器，固定在第一支撑单元上，用于将入射光分成第一光束和第二光束；第一反射单元以及第二反射单元，第二反射单元包括第二长反射镜、第二短反射镜、第二终端反射镜以及移动组件，该移动组件包括滚珠丝杆、滑块、步进电机以及动镜支架，滚珠丝杆与第二短反射镜相垂直，滑块套设在滚珠丝杆上，步进电机的输出轴通过联轴器与滚珠丝杆连接，用于带动滚珠丝杆转动进而带动滑块沿着滚珠丝杆的长度方向移动，动镜支架安装在滑块上，第二长反射镜安装在动镜支架上。

技术领域

本发明涉及光谱技术领域，具体涉及一种多反射干涉仪及多反射干涉分光方法。

背景技术

光谱分析是一种灵敏、快速鉴别物质及分析其化学组成和相对含量的方法，是研究物质原子能级以及结构的重要技术手段，在遥感技术、环境科学、农林产业、珠宝鉴定等领域广泛应用。光谱仪器根据其分光原理分为棱镜光谱仪、衍射光栅光谱仪和干涉光谱仪，其中干涉光谱仪应用的干涉型分光原理被称为第三代分光技术，因基于其设计的光谱仪器具有高光通量、高光谱分辨率等优点而逐渐成为当今光谱分析的主要技术手段。

现有技术中的干涉仪测量系统中所使用的干涉仪通常为传统的迈克尔逊干涉仪，其存在以下缺陷：在设置较低的光谱分辨率时，其动镜移动的距离较大，造成光谱移动和扫描的总时间较多，即扫描速度低；此外，迈克尔逊干涉仪的放大倍数低、光谱分辨率低。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种多反射干涉仪及多反射干涉分光方法。

本发明提供了一种多反射干涉仪，用于设置在多反射干涉自动测量系统中，具有这样的特征，包括：第一支撑单元；分束器，固定在第一支撑单元上，用于将入射光分成第一光束和第二光束；第一反射单元，固定设置在第一支撑单元上，包括第一长反射镜、第一短反射镜以及第一终端反射镜，第一长反射镜和第一短反射镜互相平行且相对设置，第一终端反射镜与第一短反射镜设置在第一长反射镜的同一侧，第一光束经第一长反射镜和第一短反射镜进行多次反射后，垂直射入第一终端反射镜后原路返回至分束器；以及第二反射单元，设置在第一支撑单元上，包括第二长反射镜、第二短反射镜以及第二终端反射镜，第二长反射镜和第二短反射镜互相平行且相对设置，第二终端反射镜与第二短反射镜设置在第二长反射镜的同一侧，第二光束经第二长反射镜和第二短反射镜进行多次反射后，垂直射入第二终端反射镜后原路返回至分束器，第一光束和第二光束在分束器汇聚后作为出射光输出，其中，第二反射单元还包括移动组件，该移动组件包括滚珠丝杆、滑块、步进电机以及动镜支架，滚珠丝杆安装在第一支撑单元上，与第二短反射镜相垂直，滑块套设在滚珠丝杆上，步进电机的输出轴通过联轴器与滚珠丝杆连接，用于带动滚珠丝杆转动进而带动滑块沿着滚珠丝杆的长度方向移动，动镜支架安装在滑块上，第二长反射镜安装在动镜支架上。

在本发明提供的多反射干涉自动测量系统中，还可以具有这样的特征：其中，第二反射单元还包括与滚珠丝杆相平行设置的光栅尺，光栅尺具有探头，探头通过连接件连接在滑块上，用于随滑块移动从而定位滑块的位置。

在本发明提供的多反射干涉自动测量系统中，还可以具有这样的特征：其中，动镜支架包括竖直设置在滑块上的第二支撑杆，套设在第二支撑杆上的第二固定件以及用于将第二固定件固定在第二支撑杆上的紧固螺栓，第二固定件具有用于安装第二长反射镜的安装卡槽。

在本发明提供的多反射干涉自动测量系统中，还可以具有这样的特征：其中，第一光束为反射光束或透射光束。

在本发明提供的多反射干涉自动测量系统中，还可以具有这样的特征：其中，第一长反射镜、第一短反射镜、第一终端反射镜、第二长反射镜、第二短反射镜以及第二终端反射镜均为平面反射镜。