[发明专利]研磨用带盒更换装置

说明书

本发明公开一种研磨用带盒更换装置。根据本发明的一个方面，提供一种研磨用带盒更换装置，该研磨用带盒更换装置将为了进行研磨而安装并使用于研磨装置的带盒安装到研磨装置或从研磨装置分离而更换。

技术领域

本发明涉及一种自动地更换用于对基板中产生的缺陷进行研磨的研磨用带的装置。

背景技术

此部分中描述的内容只是提供对于本实施例的背景信息而已，并不构成现有技术。

最近，厚度薄且重量轻的平板显示器(Flat Panel Display)领域随着对诸如移动电话、笔记本电脑、PDA(Personal Digital Assistants，个人数字助理)以及大型电视机等显示器的需求增加而在发展。

这种平板显示器中有液晶显示装置(Liquid Crystal Display,LCD)、有机电致发光显示装置(Organic Light Emitting Display,OLED)等，而平板显示器的核心在于平板显示面板，该平板显示面板以薄膜形态将以矩阵形态排列的多个像素沉积于透明的基板之间而具体实现多种颜色。

然而，在形成薄膜的工序中，由于薄膜的不均匀性和异物等的流入而会频繁地产生突起形态的缺陷，而这种突起缺陷会产生基板之间的高度偏差，从而降低光的透射率，且还会导致电气短路或断路。

因此，通常是利用研磨用带而去除基板中产生的突起缺陷。将研磨用带保管在盒中，并利用单独的研磨装置等而一边以一定的速度卷绕带一边蚀刻突起而去除缺陷。

然而，过去都是通过管理员的手工作业执行了将盒安装于研磨装置并将盒内部的研磨用带使用于研磨的过程以及至在研磨中带用尽之后从研磨装置分离盒为止的所有过程。因此，存在每当带用尽时管理员须逐个更换的不便。

发明内容

(发明所要解决的问题)

本发明的一个实施例的一个目的在于提供一种研磨用带盒(Polishing TapeCase)更换装置，该研磨用带盒更换装置将为了进行研磨而安装并使用于研磨装置的带盒安装到研磨装置或从研磨装置分离而更换。

(解决问题所采用的措施)

根据本发明的一个方面，提供一种盒更换装置，其更换用于研磨基板中缺陷的带盒，所述盒更换装置的特征在于，包括：托盘(Pallet)，保管使用于研磨之前的带的使用前的带盒或保管使用于研磨之后的带的使用后的带盒安放于上述托盘；安放部，为了从上述托盘传送至研磨装置而使用前的带盒安放于上述安放部，或者为了从上述研磨装置传送至上述托盘而使用后的带盒安放于上述安放部；第一传送部，其与带盒的一部分结合而将使用前的带盒从上述托盘传送至上述安放部，或者将使用后的带盒从上述安放部传送至上述托盘；第二传送部，其与安放于上述安放部的使用前的带盒结合而将使用前的带盒传送至上述研磨装置，或者与结合在上述研磨装置上的使用后的带盒结合而将使用后的带盒传送至上述安放部；以及控制部，其控制上述第一传送部和上述第二传送部的工作。

根据本发明的一个方面，本发明的盒更换装置的特征在于，上述托盘包括从底面铅直地向上方突出的突起部而安放并固定带盒。

根据本发明的一个方面，本发明的盒更换装置的特征在于，上述托盘以中央为中心在一侧仅包括一个突起部，在相反侧包括两个以上的突起部。

根据本发明的一个方面，本发明的盒更换装置的特征在于，上述第一传送部和上述第二传送部包括感测是否接近带盒的传感器。

根据本发明的一个方面，本发明的盒更换装置的特征在于，上述安放部包括感测带盒是否安放于上述安放部的传感器。

(发明的效果)