[发明专利]研磨用带盒更换装置在审
| 申请号： | 202110080359.4 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114571356A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 郑道淳;崔荣燮;禹贞济 | 申请（专利权）人： | HB技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B21/18 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 郭放;崔春植 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 用带盒 更换 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种盒更换装置，其更换用于研磨基板中缺陷的带盒，其特征在于，包括：
托盘，保管使用于研磨之前的带的使用前的带盒或保管使用于研磨之后的带的使用后的带盒安放于上述托盘；
安放部，为了从上述托盘传送至研磨装置而使用前的带盒安放于上述安放部，或者为了从上述研磨装置传送至上述托盘而使用后的带盒安放于上述安放部；
第一传送部，其与带盒的一部分结合而将使用前的带盒从上述托盘传送至上述安放部，或者将使用后的带盒从上述安放部传送至上述托盘；
第二传送部，其与安放于上述安放部的使用前的带盒结合而将使用前的带盒传送至上述研磨装置，或者与结合在上述研磨装置的使用后的带盒结合而将使用后的带盒传送至上述安放部；以及
控制部，其控制上述第一传送部和上述第二传送部的工作。
2.根据权利要求1所述的盒更换装置，其特征在于，
上述托盘包括从底面铅直地向上方突出的突起部而将带盒安放而固定。
3.根据权利要求2所述的盒更换装置，其特征在于，
上述托盘以中央为中心在一侧仅包括一个突起部，在相反侧包括两个以上的突起部。
4.根据权利要求1所述的盒更换装置，其特征在于，
上述第一传送部和上述第二传送部包括感测是否接近带盒的传感器。
5.根据权利要求1所述的盒更换装置，其特征在于，
上述安放部包括感测带盒是否已安放于上述安放部的传感器。
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