[发明专利]一种散热效率高的真空可变电容及其加工方法

说明书

本发明公开了真空可变电容技术领域内的一种散热效率高的真空可变电容及其加工方法，该真空可变电容包括：陶瓷管；金属外壳一，所述金属外壳一设置于所述陶瓷管一端，所述金属外壳一的表面粗糙度为1.5‑2um；金属外壳二，所述金属外壳二设置于所述陶瓷管另一端，所述金属外壳二的表面粗糙度为1.5‑2um。该真空可变电容的金属外壳表面粗糙度高，增加了表面漫反射，同时增加了金属外壳的散热面积，从而提升了真空可变电容的散热效率，提升了匹配器的稳定性，而且还在一定成程度上提高了真空可变电容的最大允许电流范围，减少了因电荷过载导致的真空可变电容损坏，提高了真空可变电容的使用寿命。

技术领域

本发明涉及真空可变电容技术领域，特别涉及一种散热效率高的真空可变电容及其加工方法。

背景技术

真空可变电容是以陶瓷或者玻璃为绝缘外壳、真空为介质、高导无氧铜为电极，采用独特的真空密封技术将内部结构和外界同期隔离，这真空可变电容内部只有非常少的气体分子存在，不容易产生电弧，可以获得很高的耐压；同时，真空可变电容内部是真空状态，里面的零部件不容易氧化，故具有性能稳定可靠的特点；与其它类型的电容相比，真空可变电容特别适用于高频和高压的领域，是一种在射频环境下作业的核心器件，广泛应用于半导体行业和面板行业(LCD和OLED)的镀膜和蚀刻工艺设备。但是由于各种因素的影响，在实际中真空可变电容具有等效串联电阻ESR存在，在高频作业环境中因等效串联电阻的存在而导致真空可变电容容易发热，在真空可变电容过热时会导致其匹配性能变差，调谐漂移，并导致设备故障。

为解决高频作业环境中真空可变电容过热的问题，本领域人员在设计及制造真空可变电容时会尽可能的降低其等效串联电阻从而减少发热，但效果有限且成本较高；因而，如何提高真空可变电容的散热效率成为亟需解决的问题。

发明内容

本申请通过提供一种散热效率高的真空可变电容及其加工方法，解决了如何提高真空可变电容的散热效率的问题，从而避免在高频作业环境中真空可变电容过热，提升其匹配器的稳定性和可靠性。

本申请实施例提供了一种散热效率高的真空可变电容，包括：

陶瓷管；

金属外壳一，所述金属外壳一设置于所述陶瓷管一端，所述金属外壳一的表面粗糙度为1.5-2um；

金属外壳二，所述金属外壳二设置于所述陶瓷管另一端，所述金属外壳二的表面粗糙度为1.5-2um。

上述实施例的有益效果在于：常规真空可变电容的金属外壳比较光滑、表面粗糙度低，一般为1.0-1.2um，容易产生镜面效应，这样粗糙度低的真空可变电容表面漫反射较少，导致热发射率也相对较小，通过喷砂工艺将真空可变电容的金属外壳原光滑表面改变为粗糙面，使其表面粗糙度提高，增加表面漫反射，同时随着粗糙度的提高，金属外壳的散热面积也随之增加，从而提升了真空可变电容的散热效率，提升匹配器的稳定性和可靠性；另外还在一定成程度上提高了真空可变电容的最大允许电流范围，减少了因电荷过载导致的真空可变电容损坏，提高了真空可变电容的使用寿命。

在上述实施例基础上，本申请可进一步改进，具体如下：

在本申请其中一个实施例中，所述金属外壳一、金属外壳二的表面粗糙度为1.85um。常规真空可变电容的表面粗糙度由原来的1.0-1.2um提高到1.85um时，温度可降低5～10℃。

在本申请其中一个实施例中，述金属外壳一、金属外壳二的表面设置有电镀层。通过电镀层提高真空可变电容的耐磨性、导电性和抗腐蚀性。

在本申请其中一个实施例中，所述电镀层为石墨镀银。石墨镀银不但有纯银电镀的所有特点，且镀层无脆性，具有比纯镀银层更高的耐磨性能、导热性能和导电性能，同时免维护自润滑，提高效率，降低成本。