[发明专利]一种消泡、调距和实时送料的电沉积革新装置

权利要求书

1.一种消泡、调距和实时送料的电沉积革新装置，包括送料系统、间距调节系统、电沉积槽系统和阴极系统，其特征在于：送料系统由滚轮夹具、阳极和固定模块组成；间距调节系统由横向度量尺和可视化移动模块组成；电沉积槽系统由电沉积槽、电沉积槽柱、红外发射器和红外接收器组成；阴极系统由避震器、线性马达、固定夹具和阴极组成。

2.根据权利要求1所述的一种消泡、调距和实时送料的电沉积革新装置，其特征在于：阳极由滚轮夹具夹持滚动，固定模块将滚轮夹具固定于横向度量尺的一端。

3.根据权利要求1所述的一种消泡、调距和实时送料的电沉积革新装置，其特征在于：横向度量尺固定于电沉积槽柱正上方且平行于水平面，可视化移动模块在横向度量尺上左右移动。

4.根据权利要求1所述的一种消泡、调距和实时送料的电沉积革新装置，其特征在于：电沉积槽柱位于电沉积槽内中部且垂直固定于电沉积槽内底部，红外发射器固定于近阳极的电沉积槽槽壁中，红外接收器固定于电沉积槽柱中且与红外发射器处于同一水平面。

5.根据权利要求1所述的一种消泡、调距和实时送料的电沉积革新装置，其特征在于：避震器、线性马达、固定夹具和阴极的重心均处于同一垂线，避震器上端与可视化移动模块底部螺纹连接，避震器下端与线性马达上端螺纹连接，线性马达下端与固定夹具上端螺纹连接，线性马达震动方向为上下震动，固定夹具夹持阴极。