[发明专利]一种真空镀膜OD在线测厚仪

权利要求书

1.一种真空镀膜OD在线测厚仪，其特征在于，包括：

主机体(1)，其外侧设置有铝合金机架(101)，且铝合金机架(101)的中部开设有用于放置被侧材料(6)的料槽(5)，所述主机体(1)内位于料槽(5)的边侧位置处设置有用于测量被侧材料(6)厚度的测量组件，该测量组件中的单片机(15)可与CCD模块(16)连接，并通过串口与PC端通讯；

两组固定支架(3)，其焊接于铝合金机架(101)的两侧，并与真空室(11)的内壁固定连接；以及

两组盖板(2)，其翻转式装配到主机体(1)的两侧，并对料槽(5)的开口覆盖，所述盖板(2)内壁的凹槽中安装有用于支撑被侧材料(6)的撑架组件(12)，且撑架组件(12)包含一号架杆(121)、二号架杆(122)以及三号架杆(123)，所述一号架杆(121)和二号架杆(122)之间通过设置辊轮(13)连接，所述一号架杆(121)与盖板(2)之间、二号架杆(122)与三号架杆(123)之间以及三号架杆(123)与盖板(2)之间均通过设置扭转弹簧连接。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜OD在线测厚仪，其特征在于：所述测量组件包括若干测量镜头(7)、控制器(8)以及光源(4)，且若干测量镜头(7)和控制器(8)呈等间距分布，并分布于料槽(5)一侧，所述光源(4)安装到主机体(1)内位于料槽(5)的另一侧。

3.如权利要求1所述的一种真空镀膜OD在线测厚仪，其特征在于：所述单片机(15)通过AD0-A1-A0数据线与CCD模块(16)连接，该CCD模块(16)的核心是一片具有128个像素的线性CCD，且CCD模块(16)用于对图像进行采集。

4.如权利要求1所述的一种真空镀膜OD在线测厚仪，其特征在于：所述主机体(1)可安装到真空室(11)内，且真空室(11)的墙壁上贯穿式设置有真空电极法兰，所述主机体(1)配套的导线经过真空电极法兰，与外部的电源(9)和PC端连接。

5.如权利要求1所述的一种真空镀膜OD在线测厚仪，其特征在于：所述盖板(2)可翻转的角度为90°，并在该状态下，所述撑架组件(12)的截面呈三角形，所述辊轮(13)的外表面可与被侧材料(6)表面贴合。

6.如权利要求1所述的一种真空镀膜OD在线测厚仪，其特征在于：所述盖板(2)的内侧安装有可转动的挂钩(10)，所述三号架杆(123)边侧预设的槽体内架设式焊接有若干可与挂钩(10)挂接的钩杆(14)。

7.如权利要求1所述的一种真空镀膜OD在线测厚仪，其特征在于：该测厚仪的使用步骤为：

S1、使用若干测量镜头(7)进行聚焦，设计镜头拍摄对象成像的横向尺寸70mm，角度70°，聚焦距离为5mm；

上述焦距计算公式为：f＝v×D/V或f＝h×D/Hf，

镜头的焦距长度v，

拍摄对象成像的纵向尺寸V，

拍摄对象的纵向尺寸h，

拍摄对象成像的横向尺寸H，

拍摄对象的横向尺寸D，

镜头至拍摄对象之间的距离；

S2、采用线阵式的CCD模块(16)作为多通道光电转换器件对测量镜头(7)拍摄的图像进行采集；

S3、将图像采集结果送入位于系统板上的单片机(15)(该系统板设置到控制器8内)采样，并发送到PC端内经过基于VB开发的检测系统软件进一步分析处理,该系统软件用于的亮度检测；

S4、将检测结果在屏幕上实时显示,实现测量覆盖整个膜宽的要求。