[发明专利]振幅调制静电力显微术测量电学特性的方法及装置

权利要求书

1.一种振幅调制静电力显微术测量电学特性的方法，其特征在于，包括：

响应于检测到针对样品的电学特性的检查指令，向探针施加振幅调制交流电压，其中，所述振幅调制交流电压包括调制信号、载波信号，电学特性至少包括以下任一：载流子浓度、电导率、介电常数；

基于所述调制信号在预设频率处所述探针的振幅和相位，确定所述样品的电学特性；

其中，所述预设频率等于所述调制信号的2倍频率；以及，

将所述探针的1/2共振频率确定为所述调制信号的频率；

其中，所述基于所述调制信号在预设频率处所述探针的振幅和相位，确定所述样品的电学特性，包括：确定在所述调制信号在预设频率处，所述探针所受到的静电力；基于所述静电力和所述预设频率，确定所述样品的电学特性；

其中，所述基于所述静电力和所述预设频率，确定所述样品的电学特性，包括：根据所述静电力和所述预设频率，确定所述探针和所述样品之间的复电容梯度；根据所述复电容梯度确定所述样品的局域阻抗；基于所述局域阻抗，确定所述样品的电学特性；

其中，通过如下方式确定所述调制信号的频率：

获取所述探针的共振频率；根据所述探针的共振频率，确定所述调制信号的频率；

其中，所述获取所述样品的共振频率，包括：将所述探针的1/2一阶共振频率确定为所述调制信号的频率。

2.一种振幅调制静电力显微术测量电学特性的装置，其特征在于，包括：

施加单元，用于响应于检测到针对样品的电学特性的检查指令，向探针施加振幅调制交流电压，其中，所述振幅调制交流电压包括调制信号、载波信号，电学特性至少包括以下任一：载流子浓度、电导率、介电常数；

第一确定单元，用于基于所述调制信号在预设频率处所述探针的振幅和相位，确定所述样品的电学特性；

其中，所述预设频率等于所述调制信号的2倍频率；以及，

将所述探针的1/2共振频率确定为所述调制信号的频率；

所述第一确定单元还用于：确定在所述调制信号在预设频率处，所述探针所受到的静电力；基于所述静电力和所述预设频率，确定所述样品的电学特性；以及，根据所述静电力和所述预设频率，确定所述探针和所述样品之间的复电容梯度；根据所述复电容梯度确定所述样品的局域阻抗；基于所述局域阻抗，确定所述样品的电学特性；

第二确定单元，用于通过如下方式确定所述调制信号的频率：

获取所述探针的共振频率；根据所述探针的共振频率，确定所述调制信号的频率；

其中，所述获取所述样品的共振频率，包括：将所述探针的1/2一阶共振频率确定为所述调制信号的频率。

3.一种电子设备，其特征在于，包括处理器以及存储器，所述存储器存储有计算机可读取指令，当所述计算机可读取指令由所述处理器执行时，运行如权利要求1所述方法中的步骤。

4.一种计算机可读介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1中所述的方法。