[发明专利]存储系统在审

专利信息
申请号: 202110010483.3 申请日: 2021-01-06
公开(公告)号: CN112320339A 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 徐建;黄耀生;成龙 申请(专利权)人: 弥费实业(上海)有限公司
主分类号: B65G47/90 分类号: B65G47/90
代理公司: 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 代理人: 于鹏
地址: 201306 上海市浦东新区自由贸*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 存储系统
【说明书】:

发明涉及存储系统,包括有SEMI E84(Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface处理物料交互并联I/O通信规则)系统、RFID(Radio Frequency Identification射频识别技术)系统、工件存放工位、手臂结构、两轴模组结构、电控柜和外框架后铝型材,工件存放工位上包含有工位定位销、微动开关、微动开光支架、光电开关、工位支撑杆和工位支撑板,两轴模组结构内包含有Z轴马达、Z轴减速机、Z轴主驱动马达支架、Z轴主动滑轨和Z轴被动滑轨。有益效果:NTB(Near Tool Buffer存储系统)通过自身手臂,可以将材料从NTB自身存储位移动至机台,增加中间存储机台,达到在不增设机台,不增加OHT(Overhead Hoist Transfer空中走行式无人搬送车)使用量的情况下,减少传送时间,增加机台利用率,提高单机台收益,减少OHT使用量。

技术领域

本发明创造或直接应用技术所属领域为智能搬运领域、机台外加存储为领域、非标定制化设备领域,涉及一种增加机台额外工位,减少机台工位空闲时间,实现机台工作时间最大化,增加厂内存储工位,减少OHT(Overhead Hoist Transfer空中走行式无人搬送车)使用量的功能。

背景技术

自动化半导体厂内在最初规划OHT轨道后,可使用的OHT最大量已经固定,故不能通过增加OHT来减少平均搬运时间;半导体厂内为高等级无尘室,现有空间都已被使用,无空间增设机台;为了克服在有限的资源条件下突破原有机台的利用率瓶颈,通过增加中间存储机台,达到在不增设机台,不增加OHT使用量的情况下,减少传送时间,增加机台利用率。

目前,自动化半导体厂内使用OHT进行自动化传送,为了使机台利用率达到最大化,会在机台上方轨道下增加OHB(Over Head Buffer空中存储位),由OHT先将材料运至OHB,当机台空闲后再用OHT将材料运至机台;其缺点在于一批材料将使用两次OHT进行搬送,机台空闲到OHT将材料从OHB运送到机台的时间大约在45s左右;而通过NTB(Near ToolBuffer 存储系统),只需要OHT进行一次搬运,NTB通过自身手臂,可以将材料从NTB自身存储位移动至机台,其时间大约为12s左右,可实现增加机台额外工位,减少机台工位空闲时间,实现机台工作时间最大化,增加厂内存储工位,减少OHT使用量的功能。

发明内容

本发明的目的在于提供存储系统,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:存储系统,包括有SEMI E84(Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface处理物料交互并联I/O通信规则)系统、RFID(Radio Frequency Identification射频识别技术)系统、工件存放工位、手臂结构、两轴模组结构、电控柜和外框架后铝型材,其特征在于,所述两轴模组结构由Z轴模组和X轴模组组成,所述工件存放工位上包含有工位定位销、微动开关、微动开光支架、光电开关、工位支撑杆和工位支撑板,所述工位定位销通过尾部螺丝的形式锁定于所述工件存放工位上,所述微动开关通过螺丝并螺母的方式锁定与所述微动开关支架上,所述微动开关支架通过螺丝锁定于所述工件存放工位上,所述光电开关锁定于所述工件存放工位上;

所述手臂结构内包含有夹爪定位销、夹具、右传感器安装块、光纤传感器发射端、光纤传感器接收端、左传感器安装块、夹具上封板和夹爪连接板,所述夹爪定位销通过尾部螺纹锁定于所述夹具底部托盘上,所述夹具底部托盘通过螺丝锁定于所述右传感器安装块上,所述右传感器安装块通过螺丝锁定于所述夹具上封板上,所述夹具底部托盘通过螺丝锁定于所述左传感器安装块上;

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