[发明专利]处理系统、处理部更换装置、处理部判断装置、以及使用处理系统更换研磨机的处理部的方法在审

专利信息
申请号: 202080097500.5 申请日: 2020-10-07
公开(公告)号: CN115151377A 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 织田健太郎;坂井智哉;山川贵士;内村知行;日比野圭祐 申请(专利权)人: 株式会社荏原制作所
主分类号: B24B45/00 分类号: B24B45/00;B24B27/00;B23Q3/155;B25J15/04
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 刘伟志
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 处理 系统 更换 装置 判断 以及 使用 研磨机 方法
【权利要求书】:

1.一种处理系统,具有:

研磨机,其以能够装拆的方式安装有对处理对象物的表面进行处理的处理部;

机械手,其安装有所述研磨机,构成为将安装于所述研磨机的所述处理部按压到所述处理对象物;

处理部更换装置,其用于更换所述研磨机的所述处理部;和

控制装置,其用于控制所述研磨机及所述机械手的动作,

所述研磨机具有:旋转轴,其在外周面具有螺纹槽且与所述处理部螺纹卡合;驱动装置,其能够使所述旋转轴正向及逆向旋转;和固定机构,其将所述旋转轴固定,

所述处理部更换装置具有手型部件,该手型部件构成为与所述机械手协作而将安装于所述研磨机的所述处理部拆下。

2.如权利要求1所述的处理系统,其中,

所述研磨机具有:

所述驱动装置的驱动轴;和

旋转传递机构,其将所述驱动轴的旋转传递到所述旋转轴,

所述固定机构包含将所述驱动轴的旋转固定的锁定机构。

3.如权利要求1或2所述的处理系统,其中,

所述手型部件构成为限制安装在所述研磨机的所述旋转轴上的所述处理部的旋转方向上的动作。

4.如权利要求1至3中任一项所述的处理系统,其中,

所述处理部更换装置具有:

储存器,其构成为保管更换用的所述处理部;和

更换台,其具备在将更换用的所述处理部安装到所述研磨机的所述旋转轴时供所述处理部配置的更换位置。

5.如权利要求4所述的处理系统,其中,

所述处理部更换装置具有:

第1磁铁,其能够相对于所述研磨机的所述旋转轴装拆;和

挡板,其用于将吸附于所述第1磁铁的更换用的所述处理部从所述第1磁铁拆下,

所述更换台具有:

支承面,其相对于铅垂方向及水平方向倾斜;

投入口,其供更换用的所述处理部投入;

导轨,其将投入到所述投入口的更换用的所述处理部沿着所述支承面引导到所述更换位置;和

止挡件,其使通过所述导轨引导的更换用的所述处理部停止在所述更换位置。

6.如权利要求1至3中任一项所述的处理系统,其中,

所述处理部更换装置具有处理部设置台,该处理部设置台具有上表面和下表面,

在所述下表面设有用于吸附所述处理部的第2磁铁。

7.如权利要求1至6中任一项所述的处理系统,其中,

所述处理部更换装置具有第1传感器,该第1传感器构成为检测在所述研磨机是否安装有所述处理部。

8.如权利要求1至7中任一项所述的处理系统,其中,

所述处理部更换装置具有补充状态发送部,该补充状态发送部构成为将表示向所述处理部更换装置补充了所述处理部这一主旨的信号发送到所述控制装置。

9.如权利要求1至8中任一项所述的处理系统,其中,

具有判断是否需要更换所述处理部的处理部判断装置,

所述处理部判断装置具有:

获取所述处理部的处理面的图像数据的拍摄装置;和

判断是否需要更换所述处理部的控制部,

所述控制部具有:

发送部,其将所述拍摄装置获取到的所述图像数据发送到解析装置;

接收部,其从所述解析装置接收所述图像数据的解析结果;和

判断部,其基于所述接收部接收到的所述解析结果,判断是否需要更换所述处理部。

10.如权利要求9所述的处理系统,其中,

所述处理部判断装置具有:

壳体,其具有用于将安装在所述研磨机的所述旋转轴上的所述处理部投入到内部的开口;和

照明,其配置于所述壳体,照亮位于所述壳体的内部的所述处理部,

所述拍摄装置设于所述壳体内。

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