[发明专利]电解电容器用阴极箔、电解电容器、及它们的制造方法

说明书

电解电容器用阴极箔具有：金属多孔质部、与金属多孔质部连接的金属芯部、金属多孔质部的细孔开口的第1主面、和覆盖金属多孔质部的覆膜。覆膜在金属多孔质部的厚度方向上形成至金属多孔质部的厚度的10％以上的深度为止。覆膜可包含：含有第1元素的导电性的第1层、和/或、第2层，所述第2层为包含第2元素的氧化物层。由此，提供能够实现优异的特性的电解电容器用的阴极箔。

技术领域

本发明涉及电解电容器用阴极箔、电解电容器、及它们的制造方法。

背景技术

电解电容器的阳极体使用包含阀作用金属的金属箔。从使静电电容增加的观点出发，对金属材料的主面的至少一部分实施蚀刻等处理，形成多孔体。其后，对多孔体进行化学转化处理，从而在多孔体的细孔或凹凸的表面形成金属氧化物(电介质)的层。

另一方面，作为阴极体的构成，根据用途使用实施了粗糙化的金属箔、及对粗糙化金属箔进一步实施化学转化而成的化学转化箔、或在金属箔表层形成有钛等非阀金属而得者。

专利文献1中记载了一种固体电解电容器用的阴极箔，其在未粗糙化的电极基材上形成有：第1导电层、构成第1导电层的物质与碳混合存在而成的混合存在层、及实质上由碳构成的第2导电层。此处，随着从第1导电层向第2导电层靠近，混合存在层的成分浓度从实质上仅包含构成第1导电层的物质的成分构成向实质上仅包含碳的成分构成而变化，由此得到高电容，且能够改善低ESR等电解电容器的特性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-174865号公报

发明内容

发明要解决的问题

提供能够实现优异的特性的电解电容器用的阴极箔及其制造方法。

用于解决问题的方案

本发明的一方面涉及一种电解电容器用阴极箔，其具有：金属多孔质部、与所述金属多孔质部连接的金属芯部、所述金属多孔质部的细孔开口的第1主面、和覆盖所述金属多孔质部的覆膜，所述覆膜在所述金属多孔质部的厚度方向上形成至所述金属多孔质部的厚度的10％以上的深度为止。

本发明的另一方面涉及一种电解电容器，其具备：上述电解电容器用阴极箔、在表面形成有电介质层的阳极体、和电解质。

本发明的另一方面涉及一种电解电容器用阴极箔的制造方法，其具备：准备金属基材的工序，所述金属基材具有金属多孔质部和与所述金属多孔质部连接的金属芯部；和在构成所述金属基材的所述金属多孔质部的金属部分的表面形成覆膜的工序，所述覆膜通过原子层沉积法(ALD)而形成。

本发明的另一方面涉及一种电解电容器的制造方法，其包括：使用上述电解电容器用阴极箔的制造方法，得到电解电容器用阴极箔的工序；准备在表面具有电介质层的阳极体的工序；和使用所述阳极体和所述电解电容器用阴极箔，形成电容器元件的工序。

发明的效果

通过使用本发明的阴极箔，从而能够提高电解电容器的特性。

附图说明

图1为示意性地示出本发明的一个实施方式涉及的电解电容器用阴极箔的构成的截面图。

图2为将同电解电容器用阴极箔的金属多孔质部的一部分放大而示出的截面示意图。

图3为示出图2所示的电解电容器用阴极箔的另一例子的截面示意图。

图4为示出图2所示的电解电容器用阴极箔的又一例子的截面示意图。

图5为示意性地示出本发明的一个实施方式涉及的电解电容器的截面图。

图6为将同电解电容器中包含的卷绕体的一部分展开的概略图。

具体实施方式