[发明专利]用于激光持续等离子体照明源的旋转灯

说明书

本发明公开一种宽带光源。所述宽带光源包含可旋转气体围阻结构。所述宽带光源包含经配置以使所述可旋转气体围阻结构绕所述可旋转气体围阻结构的水平旋转轴旋转的旋转驱动系统。所述宽带光源包含：泵浦源，其经配置以产生泵浦照明；及反射器元件，其经配置以将所述泵浦照明的部分引导到所述气体中以持续等离子体。所述反射器经配置以收集从所述等离子体发射的宽带光的部分。

相关申请案的交叉参考

本申请案根据35U.S.C.§119(e)规定主张2019年9月23日申请的序列号为62/904,289的美国临时申请案的权益，所述案的全文以引用方式并入本文中。

技术领域

本发明大体上涉及一种激光持续等离子体(LSP)宽带光源且特定来说，涉及一种配备有旋转可旋转气体围阻结构的LSP灯箱。

背景技术

对用于检验不断缩小的半导体装置的经改进光源的需求持续增长。一个此光源包含激光持续等离子体(LSP)宽带光源。LSP宽带光源包含LSP灯，所述LSP灯能够产生高功率宽带光。LSP灯在灯玻璃上遭受不均匀热分布且在激光泵浦照明中遭受对流引发的噪声。因此，从灯输出的等离子体光减少。在越来越高的泵浦功率下，这些问题变得更大。因而，提供一种用来弥补上述常规途径的短处的系统及方法将是有利的。

发明内容

公开一种宽带等离子体光源。在一个说明性实施例中，所述宽带等离子体光源包含用于围阻气体的可旋转气体围阻结构。在另一说明性实施例中，所述宽带等离子体光源包含经配置以使所述可旋转气体围阻结构绕轴旋转的旋转驱动系统。在另一说明性实施例中，所述宽带等离子体光源包含经配置以产生泵浦照明的泵浦源。在另一说明性实施例中，所述宽带等离子体光源包含经配置以将所述泵浦照明的部分引导到所述气体中以持续等离子体的反射器元件，其中所述反射器经配置以收集从所述等离子体发射的宽带光的至少一部分。

公开一种光学特性化系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含宽带照明源。在一个说明性实施例中，所述宽带照明源包含：可旋转气体围阻结构，其用于围阻气体；旋转驱动系统，其经配置以使所述可旋转气体围阻结构绕轴旋转；泵浦源，其经配置以产生泵浦照明；及反射器元件，其经配置以将所述泵浦照明的部分引导到所述气体中以持续等离子体，其中所述反射器经配置以收集从所述等离子体发射的宽带光的至少一部分。在另一说明性实施例中，所述系统包含经配置以将来自所述宽带照明源的宽带光引导到一或多个样本的一组照明光学器件。在另一说明性实施例中，所述系统包含经配置以收集从所述一或多个样本发出的光的一组集光光学器件。在另一说明性实施例中，所述系统包含检测器组合件。

公开一种产生宽带光的方法。在一个说明性实施例中，所述方法包含使可旋转气体围阻结构绕轴旋转。在另一说明性实施例中，所述方法包含产生泵浦照明。在另一说明性实施例中，所述方法包含利用反射器元件将所述泵浦照明的部分引导到所述可旋转气体围阻结构中的气体中以持续等离子体。在另一说明性实施例中，所述方法包含利用所述反射器元件收集从所述等离子体发射的宽带光的部分且将宽带光的所述部分引导到一或多个下游应用。

应理解，前文概述及下文详细描述两者仅是示范性及解释性且不一定限制如所主张的本发明。并入说明书中且构成说明书的部分的附图说明本发明的实施例且连同概述一起用来解释本发明的原理。

附图说明

通过参考附图，所属领域的技术人员可更好地理解本公开的众多优点，在附图中：

图1是常规LSP宽带光源的示意说明；

图2A到2C说明气体围阻结构的简化示意视图；

图3说明硫灯的简化示意视图；

图4A说明垂直灯配置内的对流模式；

图4B说明水平灯配置内的对流模式；