[发明专利]高功率双面薄膜滤波器

说明书

公开了一种高功率薄膜滤波器，其包括基板，该基板在第一表面与第二表面之间在Z方向上具有基板厚度。薄膜电容器可以形成于第一表面之上。薄膜电感器可以至少以基板的厚度与薄膜电容器间隔开。可以在基板中形成电连接薄膜电容器和薄膜电感器的过孔。过孔可以包括聚合组合物。

相关申请的交叉引用

本申请要求申请日为2019年3月12日的美国临时专利申请序列号62/817,140，以及申请日为2019年3月18日的美国临时专利申请序列号62/819,821的申请权益，这些美国临时专利申请的全部内容通过引用结合在本申请中。

技术领域

本申请主题通常涉及薄膜滤波器。更具体地，本申请主题涉及高功率双面薄膜滤波器。

背景技术

高频无线电信号通信日益普及。小型化趋势也增加了对小型无源组件的需求，并通常降低了此类组件的功率处理能力。小型化也增加了表面安装小型无源组件的难度。因此，本领域将欢迎具有高功率处理能力的小型、可表面安装的滤波器。

发明内容

根据本发明的一个实施方案，高功率薄膜滤波器可以包括基板(衬底，substrate)，该基板具有第一表面和在Z方向上与第一表面相反的第二表面。薄膜电容器可以形成于底表面之上。薄膜电感器在Z方向上可以至少通过基板与薄膜电容器间隔开。过孔可以形成在基板中，并电连接薄膜电容器和薄膜电感器。过孔可以包括聚合组合物(polymeric composition)。

根据本发明的另一个实施方案，高功率薄膜滤波器可以包括基板，该基板具有第一表面和在Z方向上与第一表面相反的第二表面。滤波器可以包括形成在底表面之上的薄膜电容器。滤波器可以包括薄膜电感器，该薄膜电感器在Z方向上至少通过基板与薄膜电容器间隔开。高功率薄膜滤波器具有大于约0.5W/mm²的面积功率容量(area powercapacity)。

根据本发明的另一个实施方案，用于形成高功率薄膜滤波器的方法可以包括设置基板，该基板具有第一表面和在Z方向上与第一表面相反的第二表面。该方法可以包括在底表面之上沉积薄膜电容器；沉积薄膜电感器，该薄膜电感器在Z方向上至少通过基板与薄膜电容器间隔开；以及在基板中形成过孔(通路，via)，该过孔电连接薄膜电容器与薄膜电感器。过孔可以包括聚合组合物。

附图说明

在参考了附图的说明书中阐述了针对本领域普通技术人员的本发明的完整和能够实现的公开，包括其最佳模式，在附图中：

图1A图示了根据本公开方面的滤波器的示意图；

图1B图示了根据本公开方面的高功率薄膜滤波器的一个实施方案的俯视图；

图1C图示了图1A的滤波器的侧视图；

图1D图示了根据本公开方面的图1B和图1C的滤波器的示例性过孔的侧视图；

图2A图示了根据本公开方面的高功率薄膜滤波器的一个示意性视图；

图2B图示了根据本公开方面的高功率薄膜滤波器的另一实施方案的俯视图；

图2C图示了图2B的滤波器的侧视图；

图3A图示了根据本公开方面包括电感器的滤波器的一部分；

图3B是图3A的滤波器的侧视图；

图4是根据本公开方面的形成高功率薄膜滤波器的方法的流程图；

图5图示了根据本公开方面的滤波器的模拟插入损耗(S_2,1)和回波损耗(S_1,1)数据；

图6图示了实验获得的滤波器的插入损耗和回波损耗数据；以及

图7图示了根据本公开方面的滤波器的功率容量数据。