[发明专利]工件保持夹具和表面处理装置

权利要求书

1.一种工件保持夹具，该工件保持夹具将进行表面处理的工件垂下并进行保持，使所述工件浸渍到处理液中，并且能够与整流器电连接，该工件保持夹具的特征在于，

具有：

支撑部，其能够与所述整流器导通；和

导电性的夹，其被所述支撑部所支撑，并夹持所述工件的缘部，

所述夹包括：

固定部，其固定于所述支撑部；

可动部，其按照相对于所述固定部可摆动的方式被支撑，在与所述固定部的第1面之间夹持所述工件的所述缘部；

导电性的虚设板，其具有与所述固定部的所述第1面的相反侧的第2面相向的第3面、所述第3面的相反侧的第4面、基端部和前端部，使所述第4面与所述固定部的所述第2面平行，所述基端部被支撑于所述固定部；和

绝缘性的调整构件，其覆盖所述虚设板的所述第4面，可移动地支撑于所述虚设板，

所述调整构件对所述虚设板的所述前端部中的所述第4面侧的露出导电面积进行调整。

2.如权利要求1所述的工件保持夹具，其特征在于，除了所述前端部中的所述第4面，所述虚设板进行了绝缘涂布。

3.如权利要求1或2所述的工件保持夹具，其特征在于，在所述虚设板中，所述基端部相对于所述固定部的固定位置能够在与所述调整构件可移动的方向平行的方向上变更。

4.如权利要求1～3中任一项所述的工件保持夹具，其特征在于，

所述支撑部为配置于所述工件的下方的下框，

所述夹为导电性的下侧夹，其支撑于所述下框，并夹持所述工件的下缘部。

5.如权利要求1～3中任一项所述的工件保持夹具，其特征在于，

所述支撑部为配置于所述工件的上方的上框，

所述夹为导电性的上侧夹，其支撑于所述上框，并夹持所述工件的上缘部。

6.一种表面处理装置，其特征在于，其具有：

权利要求1～5中任一项所述的工件保持夹具；

供电部，其连接到整流器，与所述工件保持夹具接触；和

表面处理槽，其至少在与所述虚设板的所述第4面相向的位置具备连接到所述整流器的阳极，

所述工件保持夹具包含与所述供电部接触且与所述支撑部导通的接触部。