[发明专利]工件保持夹具和表面处理装置

说明书

一种工件保持夹具(30)，其将进行表面处理的工件(20)垂下并进行保持，并且能够与整流器电连接，其具有：导电性的上侧夹(510)，夹持工件的上缘部(20a)；导电性的第1侧虚设构件和第2侧虚设构件，接近工件的两侧缘部(20c、20d)而配置；共通导电构件(360)，能够与整流器导电；第1分支导通构件(370A、370B、531)，与共通导电构件电连接，从共通导电构件分支，经由上述上侧夹与上述工件导通；和第2分支导通构件(900A、900B)，与共通导电构件电连接，从共通导电构件分支，与第1侧虚设构件和第2侧虚设构件导通。

技术领域

本发明涉及在电镀等表面处理中使用的工件保持夹具和表面处理装置等。

背景技术

已知一种连续镀覆装置，其利用工件保持夹具将工件垂下并浸渍到处理槽内的处理液中，一边连续传送工件一边进行电镀(专利文献1、2)。工件保持夹具对工件进行保持，并且将工件设定为阴极。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5898540号公报

专利文献2：WO2018/062259号公报

发明内容

发明所要解决的课题

对于由工件保持夹具所保持的工件来说，阳极-阴极间的电场容易集中于工件的缘部。由此，缘部的表面处理集中，例如在电镀的情况下，缘部的镀膜厚会变厚。

本发明的若干方式的目的在于调整流过由工件保持夹具所保持的工件的侧缘部的电流，提高进行表面处理的工件的面内均匀性。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及一种工件保持夹具，该工件保持夹具将进行表面处理的工件垂下并进行保持，并且能够与整流器电连接，其具有：

导电性的上侧夹，夹持上述工件的上缘部；

导电性的第1侧虚设构件和第2侧虚设构件，接近上述工件的两侧缘部而配置；

共通导电构件，能够与上述整流器导电；

第1分支导通构件，与上述共通导电构件电连接，从上述共通导电构件分支，经由上述上侧夹与上述工件导通；和

第2分支导通构件，与上述共通导电构件电连接，从上述共通导电构件分支，与上述第1侧虚设构件和第2侧虚设构件导通。

根据本发明的一个方式，能够与整流器电连接的工件保持夹具经由共通导电构件和第1分支导通构件与工件导通，并经由共通导电构件和第2分支导通构件与第1侧虚设构件和第2侧虚设构件导通。流过工件、第1侧虚设构件和第2侧虚设构件的总电流可由整流器进行设定。若没有第1侧虚设构件和第2侧虚设构件，则电场集中在工件的两侧缘部，或者受到夹具的纵框的影响，流过两侧缘部的电流将不会如预期。通过相对于第1分支导通构件独自设定第2分支导通构件的电阻值，能够与流过工件的电流独立地设定流过第1侧虚设构件和第2侧虚设构件的电流。由此，通过对接近工件的侧缘部而配置的第1侧虚设构件和第2侧虚设构件也进行表面处理，能够调整流过工件的侧缘部的电流，能够提高进行表面处理的工件的面内均匀性。需要说明的是，本发明的一个方式的夹具可以在处理槽内连续传送或间歇传送，或者也可以不被传送而以自由出入处理槽内的方式被支撑。

(2)本发明的一个方式(1)中，上述第2分支导通构件可以包括：第1虚设导通构件，从上述共通导电构件分支并与上述第1侧虚设构件导通；和第2虚设导通构件，从上述共通导电构件分支并与上述第2侧虚设构件导通。

通过独自设定第1虚设导通构件和第2虚设导通构件的电阻值，能够独自设定流过第1侧虚设构件和第2侧虚设构件的电流。由此，能够调整流过工件的一个侧缘部与另一侧缘部的电流。